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1200 ° c magnetgetriebener Gleitrohrofen für dvd & rtp

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1200 ° c magnetgetriebener Gleitrohrofen für dvd & rtp

1200 ° c magnetgetriebener Gleitrohrofen für dvd & rtp

  • :

    LITH-1200X-S-DVD
  • MOQ :

    1
  • :

    30 days
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    30 days
  • E-Mail :

    [email protected]

1200 ° c magnetgetriebener Gleitrohrofen für DVD & amp; rtp


lith-1200x-s-dvd ist ein kompakter megnet-getriebener 2 "-Rohrofen mit einer maximalen Arbeitstemperatur von 1200 ° C, der für die direkte Verdampfung (dvd) oder schnelle thermische Verarbeitung (RTP) unter verschiedenen Atmosphären für 2d-Materialwachstum ausgelegt ist.


Spezifikationen:

Ofenfunktion

  • Ein flacher Probenhalter aus Aluminiumoxid mit hoher Wärmeleitfähigkeit (2 "lx1" w) ist an einer k-Typ-Probe befestigt, und die thermische Kopplung mit dem Probenhalter kann in einem Quarzrohr bewegt werden, das von einem Magneten manuell angetrieben wird, um die gewünschte Temperaturposition im Rohr zur Verdampfung zu finden oder Ablagerung.
  • ein nist-zertifizierter präzisionstemperaturwächter wird über eine Durchführung am Vakuumflansch mit Thermoelement und Probenhalter verbunden.
  • Ein Magnet ist in den Wärmeblock eingebettet und ein anderer Magnet befindet sich außerhalb des Rohrs. Bewegen Sie den äußeren Magneten, um den Probenhalter mit Thermoelement innerhalb des Rohrs nach innen oder außen zu bewegen
  • Ein 30-Segment-Temperaturregler ist in den Ofen eingebaut, um max. Arbeitstemperatur bis 1200 ° C in der Ofenmitte
  • ein kleiner Quarztiegel enthalten ist, das verwendet werden kann, um Verdampfungsmaterial zu enthalten oder den Wafer oben für die Abscheidung entsprechend Ihrer Anwendung aufzubewahren.

Ofenleistung

  • 110 VAC oder 208 - 240 VAC, 50/60 Hz (bitte spannung bei platz bestellen)
  • 1,5 kw

max. Temperatur

1200 ° C (& lt; 1 Stunde)

kontinuierliche Temperatur

1100 ° C (kontinuierlich)

max. Erwärmungsrate

& lt; = 20 ° c / min

Heizzone

  • Heizzonenlänge: 200 mm (8 "), einzelne Zone. Das folgende Bild zeigt die Temperaturverteilung in der Heizzone. Zum Vergrößern bitte klicken.
  • konstante Temperatur Zone: 2,3 "(60 mm) (+/– 1 ° C) bei 1000 ° C
  • Sie müssen das Ofentemperaturprofil für Ihre eigene Anwendung messen, bevor Sie das Filmwachstum durchführen.

Temperaturregler

  • PID-Automatiksteuerung über ein Halbleiterrelais mit 30 Stufen programmierbar
  • eingebauter Schutz vor Übertemperatur und Thermoelementausfall
  • wahlweise: der ofen kann mit einem pc betrieben werden Kontroll Modul . bitte eine bestellen Steuergerät mts02-b gegen Aufpreis.

Temperaturgenauigkeit

+/- 1 ° c

Heizelemente

Fe-Cr-Al-Legierung, dotiert mit Mo



Rohrgröße

  • 2 "Quarzrohr (50 mm Durchmesser x 44 mm Durchmesser x 1000 mm l)
  • Zum Blockieren der Wärmestrahlung aus der Rohrkammer sind zwei Keramikblöcke aus Faserkeramik enthalten. (Keramikblöcke müssen vor dem Erhitzen vollständig in die Ofenkammer eingesetzt werden.)
  • Ein kleines Quarzboot ist für das Platzieren von Proben- oder Verdampfungsmaterialien enthalten.

Vakuumflansche

2 "Standardflansch mit 1/4 '' Bardenverschraubungen, 1/4 '' Rohrdurchführungsport (für 1/4" o.d Thermoelement-Einsatz) und einem kf25-Vakuumanschluss Klicken Sie auf das Bild unten, um Details anzuzeigen.

Unterdruck

10 -2 Torr (durch mechanische Pumpe)


passende Anschlüsse
&Ampere;
optionale Teile

  • Möglicherweise brauchen Sie eine Vakuumventil am Ende des Vakuumanschlusses (klicken Sie auf das Bild links, um zu bestellen)
  • Sie können bestellen Schnellanschlussflansch gegen Aufpreis
  • Sie können ein Mehrkanal-Gasversorgungssystem für den DVD- oder DVD-Betrieb bestellen.

Maße

mit geschlossenem Deckel: 1055 mm (l) × 300 mm (B) × 400 mm (h)
bei geöffnetem Deckel: 1055 mm (l) × 300 mm (B) × 560 mm (h)

Nettogewicht

22 kg

Versand Paket Größe

48 '' (l) x 24 '' (w) x 28 '' (h)

Versandgewicht

120 lbs

Garantie

eingeschränkte Garantie von einem Jahr mit Hubzeitunterstützung (Verschleißteile wie Bearbeitungsrohre und O-Ringe sind nicht von der Garantie abgedeckt.

Laptop, Software & amp; WLAN-Steuerung (optional)

  • brandneuer Laptop mit Microsoft Windows 10 und Microsoft Office 2013 (30 Tage kostenlose Testversion) zur sofortigen Verwendung.
  • Labview-basiertes Temperaturkontrollsystem Benutzer können das Temperaturprofil bearbeiten, das Wärmebehandlungsrezept verwalten, Daten für mti-Öfen aufzeichnen und darstellen.
  • Eine drahtlose Fernbedienung bietet eine Reichweite von bis zu 300 Metern.
  • Die oben genannten Funktionen sind auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich (bis zu 1.000 USD). Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.




Beachtung

  • ce zertifiziert
  • alle elektrischen komponenten (& gt; 24 v) sind ul / met / csa-zertifiziert
  • der ofen ist bereit, die tuv (ul61010) - oder csa-zertifizierung gegen Aufpreis zu bestehen.


Anwendungshinweise


  • Rohröfen mit Quarzröhren sind für den Einsatz unter Vakuum und bei niedrigem Druck & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
  • ein Aufmerksamkeit : An der Gasflasche muss ein zweistufiger Druckregler installiert werden, um den Druck für einen sicheren Betrieb auf unter 3 psi zu begrenzen. Definition der Vakuumgrenze für alle Quarzrohröfen: * Vakuumdrücke dürfen nur bis zu 1000 ° C verwendet werden
  • Die Flussrate für Gase sollte auf 200 sccm (oder 200 ml / min) begrenzt sein, um Wärmeschocks auf das Rohr zu reduzieren
  • Wenn Sie die Probe im Vakuum abkühlen möchten, beachten Sie bitte untenstehendes Modell





Sliding Tube Furnace









Paket:

1 Standardexportpaket: interner Antikollisionsschutz, Holzverpackung für den Export.

2 versand durch eil, auf dem luftweg, durch meer nach anforderungen der kunden, um den am besten geeigneten weg zu finden.

3 für den Schaden während des Versandvorgangs verantwortlich, wird das beschädigte Teil für Sie kostenlos ausgetauscht.

Lieferzeit : 15-20 Tage nach Bestätigung der Bestellung sollte der Liefertermin im Detail festgelegt werden

Produktionszeit und Bestellmenge.