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LITH-1200PECVDMOQ :
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Louis@lithmachine.com1200 ° c pe / cvd-Ofen mit HF-Generator und Gasgemisch & amp; Pumpsystem
Lith-1200pecvd Bekannt sind die Mehrzonen-Spaltrohröfen für die chemische Gasphasenabscheidung (cvd) und die plasmaunterstützte chemische Dampfabscheidung (pecvd) Kanthal & reg; (Schweden) Drahtheizelemente in hoher Qualität eingebettet Mitsubishi & reg; (Japan) Aluminiumoxidfaserdämmung. Zweischichtiges Stahlgehäuse sorgt für Langlebigkeit und minimiert Wärmeverluste an der Außenfläche.
Ofenbetrieb wird durch gesteuert Shimaden & reg; (Japan) 40-Segment-Digitalregler mit integriertem RS485-Kommunikationsport und USB-Adapter, mit dem der Benutzer einen PC zur Fernsteuerung und Überwachung des Ofens anschließen kann Sie können Testergebnisse auch speichern oder exportieren.
Alle unsere Öfen sind CE-konform.
Eigenschaften
1 kompaktes, tragbares und leichtes Design.
2 niedrigere Prozesstemperaturen im Vergleich zu herkömmlichen cvds erforderlich.
3 Die Filmbelastung kann durch Hoch / Niederfrequenz-Mischtechniken kontrolliert werden.
4 geteilte Ofenkammer für schnellen und einfachen Zugang zum Rohr.
5 Das Standardpaket beinhaltet einen Satz Edelstahl-Vakuumdichtungsflansche mit Ventilen und Druckmesser.
6 Die selbstabstimmende PID-Steuerung auf Mikroprozessorbasis sorgt für einen optimalen thermischen Prozess mit minimalem Überschwingen.
7 Prozesse mit mehreren Atmosphären in einem einzigen Zyklus sind möglich (z. B. Durchbrennen des Bindemittels an Luft und Sintern von Teilen unter rauem Vakuum oder Inertgas).
8 Eingebauter Amperemeter und zwei Voltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlerbehebung.
9 eingebaute Computer-Schnittstelle.
10 Thermoelement Typ K mit langer Lebensdauer.
11 Die verschiebbare Ofenoption sorgt für ultraschnelle Abkühlraten
Sicherheit
1 Überhitzungsschutz schaltet den Ofen aus, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Anleitung des Reglers) oder wenn das Thermoelement beschädigt ist oder Funktionsstörungen auftreten.
2 Der Stromausfallschutz nimmt den Ofenbetrieb sofort nach dem Ausfall wieder auf, wenn die Stromversorgung wiederhergestellt ist.
Warnung! Füllen Sie den Ofen niemals mit explosiven Gasen, einschließlich Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Methan.
Spezifikationen für Ofen, Vakuumpumpe und Gasmischsystem
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Schlauchmaterial |
Quarz |
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Heizkörper |
Kanthal & reg; (Schweden) Widerstandsspulendraht |
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max. gegen konstante Arbeitstemperaturen |
1200 ° C max. und 1100 ° C konstant |
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Thermo-Paar-Typ |
k |
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feuerfeste Auskleidung |
Mitsubishi & reg; (Japan) 1500 Aluminiumoxid-Faserqualität |
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Temperaturregler |
Shimaden & reg; (japan) fp93 mit 4 Programmen und 40 Segmenten |
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maximale Heizung & amp; Kühlrate |
& lt; 30 ° C / min |
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temperaturregler präzision |
+/- 1 ° c (+/- 1,8 ° f) |
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Vakuumdichtflansch-Kit |
Edelstahl-Vakuumdichtungsflansche mit einem Vakuummeter |
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Elektrische Anforderungen |
208-240 VAC, 50/60 Hz, einphasig |
HF-Generator-Spezifikationen
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Elektrische Anforderungen |
208-240 Volt 50/60 Hz |
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Ausgangsleistung |
5 bis 500 Watt, einstellbar in +/- 1% -Schritt |
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HF-Frequenz |
13 MHz mit einer Stabilität von +/- 0,005% |
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Reflexionskraft |
200 Watt max. |
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passend |
automatisch |
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RF-Ausgangsport |
50 Ω, n-Typ, weiblich |
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Kühlung |
Luft |
Standardpaket
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Teilebeschreibung
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Menge
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Teilbild
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Spaltrohrofen |
1 Satz |
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Mehrkanal-Gasversorgungssystem |
1 Satz |
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Plasma-HF-Stromversorgung (optional) |
1 Satz |
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Vakuumpumpe und Gehäuse (optional) |
1 Satz |
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Quarzrohr |
1 Stck |
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Analoger Durchflussmesser |
1 Stck |
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Edelstahl-Vakuumdichtungsflansche mit Druckmesser |
1 Satz |
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Haken aus Edelstahl |
1 Stck |
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Aluminiumoxidkeramik-Wärmeblock |
2 Paar |
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thermische Handschuhe |
1 Paar |
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Ersatzsicherung |
2 Stück |
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USB / RS485-Computer-Interface-Kit |
1 Satz |
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1 Standardexportpaket: interner Antikollisionsschutz, Holzverpackung für den Export.
2 versand durch eil, auf dem luftweg, durch meer nach anforderungen der kunden, um den am besten geeigneten weg zu finden.
3 für den Schaden während des Versandvorgangs verantwortlich, wird das beschädigte Teil für Sie kostenlos ausgetauscht.
Lieferzeit : 15-20 Tage nach Bestätigung der Bestellung sollte der Liefertermin im Detail festgelegt werden
Produktionszeit und Bestellmenge.
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