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1200 ° c pe / cvd-Ofen mit HF-Generator und Gasgemisch- und Pumpsystem

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1200 ° c pe / cvd-Ofen mit HF-Generator und Gasgemisch- und Pumpsystem

  • :

    LITH-1200PECVD
  • MOQ :

    1
  • :

    40 days
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    40 days
  • E-Mail :

    [email protected]

1200 ° c pe / cvd-Ofen mit HF-Generator und Gasgemisch & amp; Pumpsystem



Lith-1200pecvd Bekannt sind die Mehrzonen-Spaltrohröfen für die chemische Gasphasenabscheidung (cvd) und die plasmaunterstützte chemische Dampfabscheidung (pecvd) Kanthal & reg; (Schweden) Drahtheizelemente in hoher Qualität eingebettet Mitsubishi & reg; (Japan) Aluminiumoxidfaserdämmung. Zweischichtiges Stahlgehäuse sorgt für Langlebigkeit und minimiert Wärmeverluste an der Außenfläche.

Ofenbetrieb wird durch gesteuert Shimaden & reg; (Japan) 40-Segment-Digitalregler mit integriertem RS485-Kommunikationsport und USB-Adapter, mit dem der Benutzer einen PC zur Fernsteuerung und Überwachung des Ofens anschließen kann Sie können Testergebnisse auch speichern oder exportieren.

Alle unsere Öfen sind CE-konform.

Eigenschaften

1 kompaktes, tragbares und leichtes Design.

2 niedrigere Prozesstemperaturen im Vergleich zu herkömmlichen cvds erforderlich.

3 Die Filmbelastung kann durch Hoch / Niederfrequenz-Mischtechniken kontrolliert werden.

4 geteilte Ofenkammer für schnellen und einfachen Zugang zum Rohr.

5 Das Standardpaket beinhaltet einen Satz Edelstahl-Vakuumdichtungsflansche mit Ventilen und Druckmesser.

6 Die selbstabstimmende PID-Steuerung auf Mikroprozessorbasis sorgt für einen optimalen thermischen Prozess mit minimalem Überschwingen.

7 Prozesse mit mehreren Atmosphären in einem einzigen Zyklus sind möglich (z. B. Durchbrennen des Bindemittels an Luft und Sintern von Teilen unter rauem Vakuum oder Inertgas).

8 Eingebauter Amperemeter und zwei Voltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlerbehebung.

9 eingebaute Computer-Schnittstelle.

10 Thermoelement Typ K mit langer Lebensdauer.

11 Die verschiebbare Ofenoption sorgt für ultraschnelle Abkühlraten

Sicherheit

1 Überhitzungsschutz schaltet den Ofen aus, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Anleitung des Reglers) oder wenn das Thermoelement beschädigt ist oder Funktionsstörungen auftreten.

2 Der Stromausfallschutz nimmt den Ofenbetrieb sofort nach dem Ausfall wieder auf, wenn die Stromversorgung wiederhergestellt ist.

Warnung! Füllen Sie den Ofen niemals mit explosiven Gasen, einschließlich Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Methan.


Spezifikationen für Ofen, Vakuumpumpe und Gasmischsystem

Schlauchmaterial

Quarz

Heizkörper

Kanthal & reg; (Schweden) Widerstandsspulendraht

max. gegen konstante Arbeitstemperaturen

1200 ° C max. und 1100 ° C konstant

Thermo-Paar-Typ

k

feuerfeste Auskleidung

Mitsubishi & reg; (Japan) 1500 Aluminiumoxid-Faserqualität

Temperaturregler

Shimaden & reg; (japan) fp93 mit 4 Programmen und 40 Segmenten
(dh 4 x 10 Segmente oder 2 x 20 Segmente)

maximale Heizung & amp; Kühlrate

& lt; 30 ° C / min

temperaturregler präzision

+/- 1 ° c (+/- 1,8 ° f)

Vakuumdichtflansch-Kit

Edelstahl-Vakuumdichtungsflansche mit einem Vakuummeter
zwei ventile und vier thermokeramikblöcke.

Elektrische Anforderungen

208-240 VAC, 50/60 Hz, einphasig



HF-Generator-Spezifikationen

Elektrische Anforderungen

208-240 Volt 50/60 Hz

Ausgangsleistung

5 bis 500 Watt, einstellbar in +/- 1% -Schritt

HF-Frequenz

13 MHz mit einer Stabilität von +/- 0,005%

Reflexionskraft

200 Watt max.

passend

automatisch

RF-Ausgangsport

50 Ω, n-Typ, weiblich

Kühlung

Luft

Standardpaket

Teilebeschreibung

Menge

Teilbild

Spaltrohrofen

1 Satz

Mehrkanal-Gasversorgungssystem

1 Satz

Plasma-HF-Stromversorgung (optional)

1 Satz

Vakuumpumpe und Gehäuse (optional)

1 Satz

Quarzrohr

1 Stck

Analoger Durchflussmesser

1 Stck

Edelstahl-Vakuumdichtungsflansche mit Druckmesser

1 Satz



Haken aus Edelstahl

1 Stck



Aluminiumoxidkeramik-Wärmeblock

2 Paar



thermische Handschuhe

1 Paar

Ersatzsicherung

2 Stück

USB / RS485-Computer-Interface-Kit

1 Satz





PE/CVD Furnace

PE/CVD Furnace










Paket:

1 Standardexportpaket: interner Antikollisionsschutz, Holzverpackung für den Export.

2 versand durch eil, auf dem luftweg, durch meer nach anforderungen der kunden, um den am besten geeigneten weg zu finden.

3 für den Schaden während des Versandvorgangs verantwortlich, wird das beschädigte Teil für Sie kostenlos ausgetauscht.

Lieferzeit : 15-20 Tage nach Bestätigung der Bestellung sollte der Liefertermin im Detail festgelegt werden

Produktionszeit und Bestellmenge.