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Eingangsleistung
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Einphasen 220 Vac, 50/60 Hz
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700 w (einschließlich Vakuumpumpe)
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Für 110 VAC wird ein Transformator mitgeliefert. Bitte wählen Sie die Spannung in den Produktoptionen
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Ausgangsleistung
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Vakuumkammer
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Vakuumkammer: 150 mm Innendurchmesser x 165 mm Durchmesser x 150 mm Durchmesser, hergestellt aus hochreinem Quarz
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Dichtflansch aus Edelstahl mit flachem O-Ring
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Probentisch mit Heizung
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Bühnengröße: Ø 50 mm
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Sputterdistanzbereich: 25 - 40 mm einstellbar
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Drehbarer Tisch mit drei Sputterpositionen (über den Touchscreen gesteuert)
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Substratheizung ist mit einer maximalen Heiztemperatur von 500 ° C eingebaut
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In den Touchscreen ist ein PID-Temperaturregler mit einer Genauigkeit von +/- 1 ° C integriert
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Schalttafel
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6-Zoll-Farb-Touchscreen mit SPS-Integration für einfache Bedienung
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Vakuummeter, Zerstäubungsstrommesser und Substrattemperaturregelung sind im Touchscreen integriert
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Einstellknöpfe an der Vorderseite für die Gasaufnahme und die Steuerung des Sputterstroms
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Sputterposition, Sputter-Timer und Prozessprotokollierung sind über den Touchscreen zugänglich
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Schild
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rostfreier Stahl Schildkäfig ist für zusätzlichen Schutz enthalten
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Sputtertargets
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Anforderungen an die Zielgröße: Ø 47 mm x 2,5 mm max
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Das Standardpaket enthält drei Ziele für die sofortige Verwendung:
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au Ziel 47 mm Durchm. x 0,12 mm
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ag ziel 47 mm Durchm. x 0,5 mm
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cu Ziel 47 mm Durchm. x 2,5 mm
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verschiedene Ziele sind bei tmax bestellbar
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Vakuumpumpe
(wahlweise)
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eingebauter vakuumanschluss kf25 zum anschluss einer vakuumpumpe.
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vakuumpumpe mit kf25 anschluss ist erforderlich, aber nicht im lieferumfang enthalten. Benutzer kann wählen
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ein zweistufige mechanische Vakuumpumpe für Vakuum bis zu 1,0e-2 Torr.
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oder ein Turbopumpe für Vakuum bis 1.0e-5 Torr
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Die Vakuumpumpe kann zur automatischen Steuerung an die Steckdose links am Beschichter angeschlossen werden
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Maße
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440 mm l × 330 mm B × 455 mm h
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Nettogewicht
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Beachtung
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ce Zustimmung
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Met-Zertifizierung (ul 1450) ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich. Bitte wenden Sie sich an unseren Vertriebsmitarbeiter, um ein Angebot zu erhalten
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Garantie
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Ein Jahr begrenzt mit lebenslanger Unterstützung
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Anwendungshinweise
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Reinigen Sie die Oberfläche des Untergrunds vor dem Beschichten, um eine optimale Haftung des Untergrunds zu erzielen:
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Ultraschallreinigung mit den folgenden aufeinanderfolgenden Bädern - (1) Aceton, (2) Isopropylalkohol - zum Entfernen von Öl und Fett. Föhnen Sie das Substrat mit n2 und backen Sie es dann im Vakuum heiß, um die absorbierte Feuchtigkeit zu entfernen
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Eine Plasma-Reinigung kann zum Aufrauen der Oberfläche, zur Aktivierung chemischer Oberflächenbindungen oder zur zusätzlichen Entfernung von Verunreinigungen erforderlich sein
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Eine dünne Pufferschicht (~ 5 nm), wie z. B. cr, ti, mo, ta, könnte aufgebracht werden, um die Haftung von Metallen und Legierungen zu verbessern
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Ein zweistufiger Druckregler (nicht im Lieferumfang enthalten) sollte an der Gasflasche installiert werden, um den Ausgangsdruck des Gases zur sicheren Verwendung auf unter 0,02 mpa zu begrenzen. Bitte verwenden Sie & gt; 5n Reinstgas für das Plasmasputtern
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Der Sputter-Coater kann zum Beschichten in eine ar- und n2-Gashandschuhbox gegeben werden
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Hochspannung! Sputterköpfe werden an Hochspannung angeschlossen. Aus Sicherheitsgründen muss der Bediener das Gerät abschalten, bevor Proben geladen und Zielwechselvorgänge durchgeführt werden
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Dieses Modell ist aufgrund der geringen Energie nicht für die Beschichtung von leichtmetallischen Werkstoffen wie Al, mg, Zn, Ni usw. geeignet. Bitte beachten Sie unseren Magnetron Sputter Coater oder Thermal Evaporation Coater. Klicken Sie auf die Bilder unten für Details
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