Kompakte DC-Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage mit SPS-Integration

:
VTC-16-SM
MOQ :
1
Compliance:
CE Certified
Warranty:
1 year
Delivery Time:
5 days
E-Mail :
Louis@lithmachine.com

Kompakte DC-Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage mit SPS-Integration

vtc-16-sm ist ein hohe Energie Desktop Magnetron Plasma-Sputter-Coater mit einer Wasserkühlung 2 "Zielkopf , Wasserkühler und drehbarer Probenhalter. Die Beschichtungsanlage ist für die Beschichtung aller Metallfolien bis zu ausgelegt 4 "Waferdurchmesser einschließlich zn, al, ti und Kohlenstoff Lichtfilm zu einem erschwinglichen Preis. Ein einzelnes Ziel ist für die sofortige Verwendung enthalten. ( seit dem 18. mai 2015 wird dieses produkt nicht mehr mit vakuumpumpe in der standardverpackung geliefert. )

Spezifikationen

Eingangsspannung	220 VAC 50/60 Hz 110 V Spannung steht zur Verfügung, wenn a verwendet wird 1000 W Transformator (15 A Sicherung) ). Der Transformator ist separat erhältlich.
Ausgangsleistung	1600 VDC 250 w 150 ma max. eingebauter Überstromschutz (& gt; 150 ma)
Probenkammer	Quarzglasrohr, 165 mm od. dgl. x 150 mm Innendurchmesser x 250 mm Höhe
Sputterkopf & amp; Probentisch	Ein flexibler 2 “Magnetron-Sputterkopf mit Wasserkühlungsmantel ist im Lieferumfang enthalten (Abb. 1). Ein Probentisch aus Edelstahl mit einem Durchmesser von 50 mm ist von 0 bis 5 U / min drehbar Ein manuell betätigter Verschluss für den Zielschutz. (Abb.2) Der Sputterkopfhalter ist verfügbar, um den Sputterkopf im Ruhezustand zu halten. Der Abstand zwischen Sputterkopf und Probentisch ist von 60 - 100 mm einstellbar. maximale Beschichtungsfläche: 4 "Durchmesser max. ein Luft kalt Umlaufwasserkühler 10 l / min Durchfluss wird zur Kühlung des Sputterkopfes mitgeliefert. (Abb.6)
Schalttafel	6 "-Farb-Touchscreen-Bedienfeld mit SPS-Integration für einfache Bedienung Ein Panel für alle Parameter überwachen und steuern: Vakuum, Strom.
ultimativer Vakuumdruck	eingebauter kf25 vakuumanschluss Das System benötigt einen Ar-Gastank mit Druckregler. (nicht enthalten) & lt; 1,0e-2 Torr durch Flügelvakuumpumpe (nicht im Lieferumfang enthalten) für au, ag, pt, cu, mo Ziele (nicht luftempfindlich) & lt; 1,0e-5 Torr durch Turbomolekularpumpe (nicht im Lieferumfang enthalten) für al-, mg-, li-, lr-, ti-, zn-Ziele (luftempfindlich) das niedrigste Vakuum kann & lt; 4,0e-6 Torr durch Pumpen über Nacht und Backen
Gasatmosphäre	Ein Nadelventil installiert, damit ein Gaseinlass eine bessere Plasmabeschichtung erzielen kann das system benötigt einen ar gas tank mit druckregler (nicht im lieferumfang enthalten)
Ziel	· Ein 2 "Kupfertarget wird zum Testen mitgeliefert. Targetgröße: 2" Durchmesser x 2,5 mm. es kann auch beschichten ag, al, cr, ni, pt, ti, sn, li, mg usw. fast jede Art von metallischem Material. Warnung : Aluminium-, Chrom- oder Nickel-Target kann mit dieser Maschine beschichtet werden. Lesen Sie jedoch vor der Verwendung die empfohlene Beschichtungsmethode. Bitte verwenden Sie HF-Plasma-Magnetron-Sputtern zum Beschichten von Aluminiumoxid
Optionale Filmdickenüberwachung	Der Filmdickenmonitor ist gegen Aufpreis optional erhältlich beheizbarer Probentisch bis 500 ° C ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich Ein Durchflussmesser für den genauen Gaseinlass ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich.
Gesamtabmessungen	L 440 mm × B 330 mm × H 290 mm
Nettogewicht	20 kg
Versandgewicht & amp; Abmessungen	160 lbs 45 "x 45" x 40 "
Beachtung	ce Zustimmung Eine nrtl-Zertifizierung ist auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich. Bitte wenden Sie sich an unseren Vertriebsmitarbeiter, um ein Angebot zu erhalten.
Garantie	Ein Jahr begrenzt mit lebenslanger Unterstützung
Anwendungshinweise	Warnung: Der Sputterkopf wird an Hochspannung angeschlossen. Der Bediener muss während des Betriebs Handschuhe tragen Stellen Sie sicher, dass das Target, der Sputterkopf, das Substrat und die Heizstufe vor dem Beschichten sauber sind. Verwenden Sie Sandpapier und Alkohol, um das Al- oder Nickeltarget jedes Mal zu reinigen und zu erneuern.

Magnetron Sputtering Coater

Paket:

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird das beschädigte teil für sie kostenlos ändern.

Lieferzeit : 15-20 tage nach der bestätigung der bestellung, detail lieferdatum sollte bestimmt werden nach

Produktionszeit und Bestellmenge.

Hot Tags : Magnetron-Sputter-Coater Gleichstrom-Magnetron-Sputtern Magnetron-Sputter