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Kompakte DC-Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage mit SPS-Integration

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Kompakte DC-Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage mit SPS-Integration

Kompakte DC-Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage mit SPS-Integration

  • :

    VTC-16-SM
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

  • E-Mail :

    [email protected]

Kompakte DC-Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage mit SPS-Integration



vtc-16-sm ist ein hohe Energie Desktop Magnetron Plasma-Sputter-Coater mit einer Wasserkühlung 2 "Zielkopf , Wasserkühler und drehbarer Probenhalter. Die Beschichtungsanlage ist für die Beschichtung aller Metallfolien bis zu ausgelegt 4 "Waferdurchmesser einschließlich zn, al, ti und Kohlenstoff Lichtfilm zu einem erschwinglichen Preis. Ein einzelnes Ziel ist für die sofortige Verwendung enthalten. ( seit dem 18. mai 2015 wird dieses produkt nicht mehr mit vakuumpumpe in der standardverpackung geliefert. )

Spezifikationen

Eingangsspannung

  • 220 VAC 50/60 Hz
  • 110 V Spannung steht zur Verfügung, wenn a verwendet wird 1000 W Transformator (15 A Sicherung) ). Der Transformator ist separat erhältlich.

Ausgangsleistung

  • 1600 VDC
  • 250 w
  • 150 ma max.
  • eingebauter Überstromschutz (& gt; 150 ma)

Probenkammer

  • Quarzglasrohr, 165 mm od. dgl. x 150 mm Innendurchmesser x 250 mm Höhe


Sputterkopf & amp;
Probentisch


  • Ein flexibler 2 “Magnetron-Sputterkopf mit Wasserkühlungsmantel ist im Lieferumfang enthalten (Abb. 1).
  • Ein Probentisch aus Edelstahl mit einem Durchmesser von 50 mm ist von 0 bis 5 U / min drehbar
  • Ein manuell betätigter Verschluss für den Zielschutz. (Abb.2)
  • Der Sputterkopfhalter ist verfügbar, um den Sputterkopf im Ruhezustand zu halten.
  • Der Abstand zwischen Sputterkopf und Probentisch ist von 60 - 100 mm einstellbar.
  • maximale Beschichtungsfläche: 4 "Durchmesser max.
  • ein Luft kalt Umlaufwasserkühler 10 l / min Durchfluss wird zur Kühlung des Sputterkopfes mitgeliefert. (Abb.6)

Schalttafel

  • 6 "-Farb-Touchscreen-Bedienfeld mit SPS-Integration für einfache Bedienung
  • Ein Panel für alle Parameter überwachen und steuern: Vakuum, Strom.

ultimativer Vakuumdruck

  • eingebauter kf25 vakuumanschluss
  • Das System benötigt einen Ar-Gastank mit Druckregler. (nicht enthalten)
  • & lt; 1,0e-2 Torr durch Flügelvakuumpumpe (nicht im Lieferumfang enthalten) für au, ag, pt, cu, mo Ziele (nicht luftempfindlich)
  • & lt; 1,0e-5 Torr durch Turbomolekularpumpe (nicht im Lieferumfang enthalten) für al-, mg-, li-, lr-, ti-, zn-Ziele (luftempfindlich)
  • das niedrigste Vakuum kann & lt; 4,0e-6 Torr durch Pumpen über Nacht und Backen

Gasatmosphäre

  • Ein Nadelventil installiert, damit ein Gaseinlass eine bessere Plasmabeschichtung erzielen kann
  • das system benötigt einen ar gas tank mit druckregler (nicht im lieferumfang enthalten)


Ziel

· Ein 2 "Kupfertarget wird zum Testen mitgeliefert. Targetgröße: 2" Durchmesser x 2,5 mm.

  • es kann auch beschichten ag, al, cr, ni, pt, ti, sn, li, mg usw. fast jede Art von metallischem Material.
  • Warnung : Aluminium-, Chrom- oder Nickel-Target kann mit dieser Maschine beschichtet werden. Lesen Sie jedoch vor der Verwendung die empfohlene Beschichtungsmethode.
  • Bitte verwenden Sie HF-Plasma-Magnetron-Sputtern zum Beschichten von Aluminiumoxid

Optionale Filmdickenüberwachung

  • Der Filmdickenmonitor ist gegen Aufpreis optional erhältlich
  • beheizbarer Probentisch bis 500 ° C ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich
  • Ein Durchflussmesser für den genauen Gaseinlass ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich.

Gesamtabmessungen

  • L 440 mm × B 330 mm × H 290 mm

Nettogewicht

  • 20 kg

Versandgewicht & amp; Abmessungen

  • 160 lbs
  • 45 "x 45" x 40 "

Beachtung

  • ce Zustimmung
  • Eine nrtl-Zertifizierung ist auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich. Bitte wenden Sie sich an unseren Vertriebsmitarbeiter, um ein Angebot zu erhalten.

Garantie

  • Ein Jahr begrenzt mit lebenslanger Unterstützung

Anwendungshinweise

  • Warnung: Der Sputterkopf wird an Hochspannung angeschlossen. Der Bediener muss während des Betriebs Handschuhe tragen
  • Stellen Sie sicher, dass das Target, der Sputterkopf, das Substrat und die Heizstufe vor dem Beschichten sauber sind. Verwenden Sie Sandpapier und Alkohol, um das Al- oder Nickeltarget jedes Mal zu reinigen und zu erneuern.




Magnetron Sputtering Coater









Paket:

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird das beschädigte teil für sie kostenlos ändern.

Lieferzeit : 15-20 tage nach der bestätigung der bestellung, detail lieferdatum sollte bestimmt werden nach

Produktionszeit und Bestellmenge.