Produkte
Startseite Produkte Lab Coater Sputtering Coater

kompakter css-ofen mit max. 800 ° c und 5 "dia-scheibe und zwei zonen für schnelles thermisches arbeiten

Kontaktieren Sie uns

  • Contact Person : Louis Yang
  • E-Mail : [email protected]
  • Adresse : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
kompakter css-ofen mit max. 800 ° c und 5 "dia-scheibe und zwei zonen für schnelles thermisches arbeiten

kompakter css-ofen mit max. 800 ° c und 5 "dia-scheibe und zwei zonen für schnelles thermisches arbeiten

  • :

    OTF-1200X-RTP-II-5
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

  • E-Mail :

    [email protected]

kompakter css-ofen mit max. 800 ° c und 5 "dia-scheibe und zwei zonen für schnelles thermisches arbeiten


otf-1200x-rtp-ii-5 ist ein thermischer Schnellverarbeitungsofen mit einer 11-Zoll-Innendurchmesser-Quarzkammer. nahe beieinander liegende Sublimation ) Filmbeschichtung bis zu 5 "Durchmesser, kreisförmige Proben und max. 800 ° C. Der Ofen wird von zwei Halogenheizgruppen (oben und unten) getrennt mit max. 10ºC / s Erwärmungsrate. Zwei 30-Segment-Präzisions-Temperaturregler sind mit einer Genauigkeit von +/- 1 ° C eingebaut. RS485-Anschluss und Steuerungssoftware sind enthalten, um den Betrieb des Ofens und die Aufzeichnung des Temperaturprofils über den PC zu ermöglichen. Es ist ein hervorragendes Werkzeug für die Erforschung von Dünnfilmen der neuen Generation für Solarzellen wie CDT-, Sulfid- und Perowskit-Solarzellen.


Spezifikationen:

Ofenstruktur & amp; Vakuumkammer

· zwei Temperaturregler.

· Die Kammer besteht aus hochreinem Quarzglas.

· Quarzrohrgröße: 11 "od / 10,8" id x 9 "h

· Die Vakuumflansche bestehen aus Edelstahl 316.

Vakuumflansche

Two Zones CSS Furnace

Two Zones CSS Furnace

· Der obere Flansch mit einem kfd-25-Vakuumanschluss und einem Gasauslass (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) kann manuell nach oben oder unten verschoben werden, um das Substrat und das verdampfte Material leicht zu laden und zu entladen.

· Der untere Flansch hat einen kfd-25-Vakuumanschluss mit einem Gaseinlass (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) und Nadelventilen.

· Der Flansch ist durch doppelte Silikon-O-Ringe abgedichtet und kann max. der Vakuumdruck von 10e-2 Torr durch eine mechanische Qualitätspumpe und 10e-5 Torr durch eine Molekularpumpe (Vakuumpumpe ist nicht enthalten, bitte separat bestellen).

· Ein digitales Vakuummeter ist am oberen Flansch angebracht.

· Das digitale Präzisions-Korrosionsschutz-Vakuummeter ist in der Standardverpackung enthalten (seit 24.03.2016) .

Gasflusskontrolle

Two Zones CSS Furnace



Gasmischer integriert mit zwei Schwimmerzählern mit einstellbaren Messbereichen von 16 - 160 ml / m

Heizung und Probenhalter
Two Zones CSS Furnace

· zwei unabhängig voneinander regelbare heizgeräte mit einem manuell einstellbaren spalt von 2 - 30 mm.

· Als Heizelement für die schnelle thermische Verarbeitung werden 20 Stück Halogenlampen verwendet.

· Die Heizungen bestehen aus rostfreiem Stahl mit wassergekühltem Mantel, um die Wärmeabstrahlung zu reduzieren und eine schnelle Abkühlung zu ermöglichen.

· Der kreisförmige Waferhalter ist in die obere Heizung eingebaut, um das Substrat zu halten.

· Ein Satz wärmeleitfähiger Aln- oder Graphitplatten (5 Zoll Durchmesser x 0,5 mm Dicke) ist im Lieferumfang enthalten (Platz auf dem Boden zum Verdampfen von Material).

· Ein Umlaufwasserkühler mit 58 l / min wird mitgeliefert, um die Wasserquelle zu schonen (klicken Sie auf das Bild unten, um detaillierte technische Daten zu erhalten).

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace


Temperaturregler

· Zwei präzise digitale Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten ermöglichen die unabhängige Steuerung der Ober- und Unterhitze.

· Jeder Regler verfügt über eine PID-Autotuning-Funktion zum Schutz der Heizungen vor Überhitzung und eine Alarmfunktion zur Vermeidung von Überhitzung. Außerdem ist ein Thermoelement defekt.

· PC-Kommunikationsschnittstelle & amp; Für die Aufzeichnung des unten gezeigten Temperaturprofils ist eine Software installiert.

·Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace



Arbeitstemperatur

· Maximaltemperatur für jede Heizung: & lt; = 800ºC.

· Maximaler Temperaturunterschied zwischen zwei Heizkörpern: & lt; = 300 ° C hängt vom Abstand zwischen zwei Heizkörpern ab:

O Abstand 30mm max. Temperaturdifferenz: 315 ° C nur bei Heizboden

Heizung & amp; Kühlrate

· Heizung: & lt; 8 ºC / s (nur Heizelement)

· Kühlung: & lt; 10 ° C / s (600 - 100 ° C) max.

thermisches Paar

Zwei K-Wärmepaare werden separat an den Ober- und Unterheizungen installiert.

Betriebsspannung

220 VAC, einphasig, 60 A Luftunterbrecher erforderlich

Leistungsbedarf

9,5 kW insgesamt

Maße

Two Zones CSS Furnace 1085 mm l x 680 mm b x 1710 mm h

Versandgewicht & amp; Abmessungen

· zwei paletten: 525 lbs und 48 "x 40" x 87 "und 165 lbs mit 39x31x29" dimension





wahlweise

· Eine Vakuumpumpe ist erforderlich. Bitte separat bestellen, indem Sie auf das erste Bild links unten klicken. Das Vakuumniveau kann & lt; = 10e-2 Torr durch mechanische Pumpe.

· Wenn Sie mit korrosivem Gas arbeiten, empfehlen wir die Verwendung der korrosionsbeständigen Trockenpumpe (pfeiffer pump from germany) (siehe zweites Bild links unten) gegen Aufpreis.

· Sie können ein digitales mfc-Gasversorgungssystem wählen, indem Sie auf das erste Bild rechts unten klicken.

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnacec Two Zones CSS Furnace

Garantie

Ein Jahr mit lebenslanger Unterstützung (Verschleißteile wie Quarzrohre und Heizlampen sind von der Garantie ausgeschlossen).

Laptop, Software & amp; WiFi-Steuerung (optional)
Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace

· brandneuer laptop mit microsoft window 10 und microsoft office 2013 (30 tage kostenlose testversion) für den sofortigen einsatz.

· labview-basiertes Temperiersystem ( eq-mts01 ) Ermöglicht dem Benutzer das Bearbeiten des Temperaturprofils, das Verwalten des Wärmebehandlungsrezepts sowie das Aufzeichnen und Plotten von Daten für MTI-Öfen.

· Eine kabellose Fernbedienung bietet eine Reichweite von bis zu 300 Metern.

· Die oben genannten Funktionen sind auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich (bis zu 1.000 USD). Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.

· Hinweis: Die Software ist nur kompatibel mit tmax Yudian-Temperaturregler


Anwendungshinweise & amp; Warnungen
Two Zones CSS Furnace

· die rohröfen mit quarzrohr sind für den einsatz unter vakuum und niederdruck & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. Vakuumdrücke dürfen nur bis 1000 ° C gefahrlos angewendet werden. Die Durchflussrate für Gase sollte auf & lt; 200 sccm (oder 200 ml / min) zur Reduzierung von Wärmeschocks auf das Röhrchen.

· Beachtung : Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 psi zu begrenzen.

· Der Standfuß dieses Ofens ist für kurze Strecken auf ebener Fläche ausgelegt




CSS Furnace









Paket:

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird das beschädigte teil für sie kostenlos ändern.

Lieferzeit : 15-20 tage nach der bestätigung der bestellung, detail lieferdatum sollte bestimmt werden nach

Produktionszeit und Bestellmenge.