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OTF-1200X-RTP-IIMOQ :
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otf-1200x-rtp-ii ist ein Schnellwärmebehandlungsofen mit zwei Heizzonen und einem 11-Zoll-Quarzrohr. nahe beieinander liegende Sublimation ) Filmbeschichtung bis zu 3 "Durchmesser oder 2" x 2 "Quadrat. Der Ofen wird von zwei Halogenheizgruppen (oben und unten) separat mit einer Heizrate von maximal 20 ° C / s beheizt. Zwei 30-Segment-Präzisions-Temperaturregler sind mit eingebaut Genauigkeit von +/- 1 ° C. RS485-Anschluss und Steuerungssoftware ermöglichen den Betrieb des Ofens und die Aufzeichnung von Temperaturprofilen über den PC. Es ist ein hervorragendes Werkzeug für die Erforschung von Dünnfilmen der neuen Generation für Solarzellen wie CDTE, Sulfid und P Erovskit-Solarzelle.
Spezifikationen:
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Ofenstruktur & amp; Vakuumkammer |
· doppelte Heizung, zwei Temperaturregler und zweikanalige Gasdurchflussmesser sind in einem mobilen Aluminiumlegierungsrahmen integriert · Die Kammer besteht aus hochreinem Quarzglas · Quarzrohrgröße: 11 "od / 10,8" id x 9 "h · Die Vakuumflansche bestehen aus Edelstahl 316 · Gesamtabmessung: 850 (l) × 745 (b) × 1615 (h) mm
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Vakuumflansche |
· Der obere Flansch mit einem kfd-25-Vakuumanschluss und zwei Gasauslässen (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) kann manuell nach oben oder unten verschoben werden, um das Substrat und das verdampfte Material leicht zu laden und zu entladen · Der untere Flansch hat einen kfd-25-Vakuumanschluss mit zwei Gaseinlässen (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) und Nadelventilen · Der Flansch ist durch doppelte Silikon-O-Ringe abgedichtet und kann mit einer hochwertigen mechanischen Pumpe einen maximalen Vakuumdruck von 10 bis 2 Torr und mit einer Molekularpumpe von 10 bis 5 Torr erreichen (Vakuumpumpe nicht im Lieferumfang enthalten, bitte separat bestellen). · Das digitale Präzisions-Korrosionsschutz-Vakuummeter ist in der Standardverpackung enthalten (seit 24.03.2016) . |
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Gasdurchflussmesser
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Auf dem Bedienfeld sind zwei Schwimmer mit folgenden Messbereichen installiert: · 16-160 ml / m · 400 - 4000 ml / m (zum Spülen) |
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Heizung und Probenhalter
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· zwei kurzwellige ir-lampen als heizelemente zum schnellen aufheizen. · Der Abstand zwischen zwei Heizkörpern ist von 10 - 50 mm einstellbar · Die Heizungen bestehen aus Edelstahl mit wassergekühltem Mantel, um die Wärmeabstrahlung zu reduzieren und eine schnelle Abkühlung zu ermöglichen · 3 "runde Waferhalterung wird mit oberer Heizung eingebaut, um Substrat zu laden · Eine wärmeleitende Aluminiumplatte (3 Zoll Durchmesser x 0,5 mm Dicke) wird mitgeliefert, die auf die Rückseite des Substrats gelegt wird, damit es gleichmäßig erwärmt wird · Eine 3 "Graphitplatte kann alternativ für eine Platte verwendet werden. Bitte klicken Sie auf das Bild, um es zu bestellen. · Ein Ersatz der Halogenlampe ist gegen Aufpreis erhältlich
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· Zwei präzise digitale Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten ermöglichen die unabhängige Steuerung von Ober- und Unterhitze · Jeder Regler verfügt über eine PID-Auto-Tuning-Funktion zum Schutz der Heizungen vor Überhitzung und Alarmfunktion, um eine Überhitzung und einen Bruch des Thermoelements zu vermeiden · PC-Kommunikationsschnittstelle & amp; Die Software ist installiert für (klicken Sie auf das Bild unten, um Details zu sehen) das Aufnahmetemperaturprofil wie unten gezeigt
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· Maximaltemperatur für jede Heizung: & lt; = 650ºC · Maximaler Temperaturunterschied zwischen zwei Heizkörpern: & lt; = 300 ° C hängt vom Abstand zwischen zwei Heizkörpern ab: O Abstand 30mm max. Temperaturdifferenz: 315 ° C nur bei Heizboden O Abstand 40mm max. Temperaturdifferenz: 350 ° C nur bei Heizboden O Abstand 50mm max. Temperaturdifferenz: nur 395 ° C bei Heizboden |
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Heizung & amp; Kühlrate |
· Heizung: & lt; 8 ºC / s (nur Heizelement) · Kühlung: & lt; 10 ° C / s (600 - 100 ° C) max. |
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Zwei K-Thermoelemente (freiliegend) sind separat auf den Ober- und Unterheizungen installiert |
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Betriebsspannung |
Einphasiger Leistungsschalter mit 208 - 240 VAC und 20 A Leistung |
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Leistungsbedarf |
2200 W gesamt (1100 W für jede Heizung) |
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· Eine Vakuumpumpe ist erforderlich. Bitte separat bestellen, indem Sie auf das erste Bild links unten klicken. Das Vakuumniveau kann & lt; = 10e-2 Torr durch mechanische Pumpe · Wenn Sie mit korrosivem Gas arbeiten, empfehlen wir die Verwendung einer korrosionsbeständigen Trockenpumpe (pfeiffer-Pumpe aus Deutschland) (siehe zweites Bild links unten) gegen Aufpreis · Sie können einen Umlaufwasserkühler zur Einsparung der Wasserquelle separat bestellen · Sie können ein digitales mfc-Gasversorgungssystem wählen, indem Sie auf das erste Bild rechts unten klicken
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Garantie |
ein Jahr begrenzt mit lebenslanger Unterstützung (Verschleißteile wie Quarzröhren und Heizlampen sind nicht von der Garantie abgedeckt) |
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Laptop, Software & amp; WiFi-Steuerung (optional) |
· brandneuer laptop mit microsoft window 10 und microsoft office 2013 (30 tage kostenlose testversion) für den sofortigen einsatz. · labview-basiertes Temperiersystem ( eq-mts01 ) Ermöglicht dem Benutzer das Bearbeiten des Temperaturprofils, das Verwalten des Wärmebehandlungsrezepts sowie das Aufzeichnen und Plotten von Daten für MTI-Öfen. · Eine kabellose Fernbedienung bietet eine Reichweite von bis zu 300 Metern. · Die oben genannten Funktionen sind auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich (bis zu 1.000 USD). Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen. ·
Hinweis: |
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Anwendungshinweise |
Bitte Artikel lesen: hocheffiziente css cdte solarzelle |
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· Die Röhrenöfen mit Quarzrohr sind für den Einsatz unter Vakuum und Niederdruck & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. Vakuumdrücke dürfen nur bis 1000 ° C gefahrlos angewendet werden. Die Durchflussrate für Gase sollte auf & lt; 200 sccm (oder 200 ml / min) zur Reduzierung von Wärmeschocks auf das Röhrchen. · Beachtung : Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 psi zu begrenzen. |
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