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max.800 ° css ofen mit zwei rotierenden zonen und heizung und kühlung

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  • Adresse : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
max.800 ° css ofen mit zwei rotierenden zonen und heizung und kühlung

max.800 ° css ofen mit zwei rotierenden zonen und heizung und kühlung

  • :

    OTF-1200X-RTP-II-5-R
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

  • E-Mail :

    [email protected]

max.800 ° css ofen mit zwei rotierenden zonen und heizung & amp; Kühlung


otf-1200x-rtp-ii-5-r ist ein fortschrittlicher thermischer Schnellverarbeitungsofen mit einer 11-Zoll-Quarzkammer und einem 5-Zoll-Probenhalter. es ist für die css-filmbeschichtung von bis zu 5 "runden oder quadratischen scheibenproben bei einer arbeitstemperatur von max. 800 ° c ausgelegt. der ofen wird von zwei halogenheizgruppen (oben und unten) separat mit max. 10 º c / s Erwärmungsrate. Der obere Probenhalter ist drehbar, um eine gleichmäßige Beschichtung zu erzielen. Es ist ein hervorragendes Werkzeug für die Erforschung von Dünnfilmen der neuen Generation für Solarzellen wie cdte, sulfid und p Erovskit-Solarzelle.


Spezifikationen:
Ofenstruktur
Two Zones CSS Furnace

  • Ofen, zwei Temperaturregler, Zwei-Kanal-Gasdurchflussmesser sind in einem mobilen Aluminiumlegierungsrahmen integriert.
  • Die Kammer besteht aus hochreinem Quarzglasrohr mit einer Abmessung von 11 "od / 10,8" id x 9 "h.
  • Die Vakuumflansche bestehen aus Edelstahl 316 und werden elektromotorisch angehoben.
  • zwei 5 "x 5" ir-heizplatten und der abstand sind einstellbar.
  • Der obere Probenhalter ist mit einer Drehzahl von 0 - 7 U / min drehbar.
Vakuumflansche
Two Zones CSS Furnace
  • Der obere Flansch mit einem kfd-25-Vakuumanschluss und einem Gasauslass (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) kann manuell nach oben oder unten verschoben werden, um das Substrat und das verdampfte Material leicht zu laden und zu entladen.
  • Der untere Flansch hat einen kfd-25-Vakuumanschluss mit einem Gaseinlass (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) und Nadelventilen.
  • Der Flansch ist durch doppelte Silikon-O-Ringe abgedichtet und kann max. der Vakuumdruck von 10e-2 Torr durch eine Qualität mechanische Pumpe und 10e-5 Torr durch eine Molekularpumpe (Vakuumpumpe ist nicht im Lieferumfang enthalten, bitte separat bestellen).
  • Ein digitales Vakuummeter ist am oberen Flansch angebracht.
  • Das digitale Präzisions-Korrosionsschutz-Vakuummeter ist im Lieferumfang enthalten (seit 24.03.2016) .
Two Zones CSS Furnace
Heizung und Probenhalter


  • Zwei unabhängig voneinander regelbare Heizungen mit manuell einstellbarem Spalt von 2 - 30 mm.
  • Als Heizelement für die schnelle thermische Verarbeitung werden 20 Stück Halogenlampen verwendet.
  • Die Heizungen bestehen aus rostfreiem Stahl mit wassergekühltem Mantel, um die Wärmeabstrahlung zu verringern, und können schnell abkühlen.
  • Der kreisförmige Waferhalter ist in die obere Heizung eingebaut, um das Substrat zu halten.
  • Ein Satz wärmeleitfähiger Aluminiumplatten (5 Zoll Durchmesser x 0,5 mm Dicke) wird mitgeliefert (zur gleichmäßigen Erwärmung auf die Rückseite des Substrats legen).
  • Ein Umlaufwasserkühler mit 58 l / min wird mitgeliefert, um die Wasserquelle zu schonen.
  • Der obere Probenhalter ist mit einer einstellbaren Drehzahl von 0 - 7 U / min drehbar
Two Zones CSS Furnace

Temperaturregler


  • Zwei präzise digitale Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten ermöglichen die unabhängige Steuerung von Ober- und Unterhitze.
  • Jeder Regler verfügt über eine PID-Autotuning-Funktion zum Schutz der Heizungen vor Überhitzung und eine Alarmfunktion, um zu verhindern, dass die Thermoelemente durch Überhitzung beschädigt werden.
  • PC-Kommunikationsschnittstelle & amp; Software installiert für (klicken Sie auf das Bild unten für Details) Aufzeichnungstemperaturprofil wie unten gezeigt.
  • Two Zones CSS Furnace


Arbeitstemperatur
  • Maximaltemperatur für jede Heizung: ≤ 800 ° C.
  • Maximaler Temperaturunterschied zwischen zwei Heizkörpern: ≤ 300 ° C hängt vom Abstand zwischen zwei Heizkörpern ab:
    • Abstand 30mm max. Temperaturdifferenz: 315 ° C nur bei Heizboden
Heizung & amp; Kühlrate
  • Heizung: & lt; 8 ºC / s (nur Heizelement)
  • Kühlung: & lt; 10 ° C / s (600 - 100 ° C) max.
thermisches Paar Zwei K-Wärmepaare werden separat an den Ober- und Unterheizungen installiert.
Betriebsspannung 208 - 240 VAC, einphasig, 50 A Luftunterbrecher
Leistungsbedarf 10 kw gesamt
Versandgewicht & amp; Abmessungen
  • zwei Paletten: 525 lbs und 48 "x 40" x 87 "und 165 lbs mit 39x31x29" Abmessung




wahlweise
  • Eine Vakuumpumpe ist erforderlich. Bitte separat bestellen, indem Sie auf das erste Bild links unten klicken. Das Vakuumniveau kann durch mechanische Pumpe ≤ 10e-2 Torr erreichen.
  • Wenn Sie ätzendes Gas verwenden, verwenden Sie bitte eine Kühlfalle oder eine korrosionsbeständige Trockenpumpe (siehe Abbildung 2-3).
  • Sie können ein digitales mfc-Gasversorgungssystem wählen, indem Sie auf das erste Bild rechts unten klicken.
Two Zones CSS Furnace
Garantie Ein Jahr mit lebenslanger Unterstützung (Verschleißteile wie Quarzrohre und Heizlampen sind von der Garantie ausgeschlossen).

Anwendungshinweise & amp; Warnungen
Two Zones CSS Furnace
  • Die Röhrenöfen mit Quarzrohr sind für den Einsatz unter Vakuum und Niederdruck & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. Vakuumdrücke dürfen nur bis 1000 ° C gefahrlos angewendet werden. Die Durchflussrate für Gase sollte auf & lt; 200 sccm (oder 200 ml / min) zur Reduzierung von Wärmeschocks auf das Röhrchen.
  • ein Achtung : Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 psi zu begrenzen.
  • Der Standfuß dieses Ofens ist nur für kurze Strecken auf ebener Fläche (ohne Gruben oder Beulen) ausgelegt.




CSS Furnace









Paket:

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird das beschädigte teil für sie kostenlos ändern.

Lieferzeit : 15-20 tage nach der bestätigung der bestellung, detail lieferdatum sollte bestimmt werden nach

Produktionszeit und Bestellmenge.