Ofenstruktur
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Ofen, zwei Temperaturregler, Zwei-Kanal-Gasdurchflussmesser sind in einem mobilen Aluminiumlegierungsrahmen integriert.
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Die Kammer besteht aus hochreinem Quarzglasrohr mit einer Abmessung von 11 "od / 10,8" id x 9 "h.
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Die Vakuumflansche bestehen aus Edelstahl 316 und werden elektromotorisch angehoben.
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zwei 5 "x 5" ir-heizplatten und der abstand sind einstellbar.
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Der obere Probenhalter ist mit einer Drehzahl von 0 - 7 U / min drehbar.
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Der obere Flansch mit einem kfd-25-Vakuumanschluss und einem Gasauslass (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) kann manuell nach oben oder unten verschoben werden, um das Substrat und das verdampfte Material leicht zu laden und zu entladen.
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Der untere Flansch hat einen kfd-25-Vakuumanschluss mit einem Gaseinlass (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) und Nadelventilen.
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Der Flansch ist durch doppelte Silikon-O-Ringe abgedichtet und kann max. der Vakuumdruck von 10e-2 Torr durch eine Qualität mechanische Pumpe und 10e-5 Torr durch eine Molekularpumpe (Vakuumpumpe ist nicht im Lieferumfang enthalten, bitte separat bestellen).
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Ein digitales Vakuummeter ist am oberen Flansch angebracht.
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Das digitale Präzisions-Korrosionsschutz-Vakuummeter ist im Lieferumfang enthalten (seit 24.03.2016) .
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Heizung und Probenhalter
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Zwei unabhängig voneinander regelbare Heizungen mit manuell einstellbarem Spalt von 2 - 30 mm.
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Als Heizelement für die schnelle thermische Verarbeitung werden 20 Stück Halogenlampen verwendet.
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Die Heizungen bestehen aus rostfreiem Stahl mit wassergekühltem Mantel, um die Wärmeabstrahlung zu verringern, und können schnell abkühlen.
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Der kreisförmige Waferhalter ist in die obere Heizung eingebaut, um das Substrat zu halten.
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Ein Satz wärmeleitfähiger Aluminiumplatten (5 Zoll Durchmesser x 0,5 mm Dicke) wird mitgeliefert (zur gleichmäßigen Erwärmung auf die Rückseite des Substrats legen).
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Ein Umlaufwasserkühler mit 58 l / min wird mitgeliefert, um die Wasserquelle zu schonen.
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Der obere Probenhalter ist mit einer einstellbaren Drehzahl von 0 - 7 U / min drehbar
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Temperaturregler
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Zwei präzise digitale Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten ermöglichen die unabhängige Steuerung von Ober- und Unterhitze.
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Jeder Regler verfügt über eine PID-Autotuning-Funktion zum Schutz der Heizungen vor Überhitzung und eine Alarmfunktion, um zu verhindern, dass die Thermoelemente durch Überhitzung beschädigt werden.
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PC-Kommunikationsschnittstelle & amp; Software installiert für (klicken Sie auf das Bild unten für Details) Aufzeichnungstemperaturprofil wie unten gezeigt.
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Arbeitstemperatur
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Maximaltemperatur für jede Heizung: ≤ 800 ° C.
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Maximaler Temperaturunterschied zwischen zwei Heizkörpern: ≤ 300 ° C hängt vom Abstand zwischen zwei Heizkörpern ab:
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Abstand 30mm max. Temperaturdifferenz: 315 ° C nur bei Heizboden
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Heizung & amp; Kühlrate
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Heizung: & lt; 8 ºC / s (nur Heizelement)
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Kühlung: & lt; 10 ° C / s (600 - 100 ° C) max.
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thermisches Paar
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Zwei K-Wärmepaare werden separat an den Ober- und Unterheizungen installiert.
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Betriebsspannung
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208 - 240 VAC, einphasig, 50 A Luftunterbrecher
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Leistungsbedarf
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10 kw gesamt
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Versandgewicht & amp; Abmessungen
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zwei Paletten: 525 lbs und 48 "x 40" x 87 "und 165 lbs mit 39x31x29" Abmessung
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wahlweise
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Eine Vakuumpumpe ist erforderlich. Bitte separat bestellen, indem Sie auf das erste Bild links unten klicken. Das Vakuumniveau kann durch mechanische Pumpe ≤ 10e-2 Torr erreichen.
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Wenn Sie ätzendes Gas verwenden, verwenden Sie bitte eine Kühlfalle oder eine korrosionsbeständige Trockenpumpe (siehe Abbildung 2-3).
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Sie können ein digitales mfc-Gasversorgungssystem wählen, indem Sie auf das erste Bild rechts unten klicken.
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Garantie
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Ein Jahr mit lebenslanger Unterstützung (Verschleißteile wie Quarzrohre und Heizlampen sind von der Garantie ausgeschlossen).
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Anwendungshinweise & amp; Warnungen
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Die Röhrenöfen mit Quarzrohr sind für den Einsatz unter Vakuum und Niederdruck & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. Vakuumdrücke dürfen nur bis 1000 ° C gefahrlos angewendet werden. Die Durchflussrate für Gase sollte auf & lt; 200 sccm (oder 200 ml / min) zur Reduzierung von Wärmeschocks auf das Röhrchen.
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ein Achtung : Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 psi zu begrenzen.
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Der Standfuß dieses Ofens ist nur für kurze Strecken auf ebener Fläche (ohne Gruben oder Beulen) ausgelegt.
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Louis@lithmachine.com
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