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Mini Single Temperature Zone Schiebe-Pecvd-Rohrofen

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Mini Single Temperature Zone Schiebe-Pecvd-Rohrofen

Mini Single Temperature Zone Schiebe-Pecvd-Rohrofen

  • :

    LITH-1200-SlidingPEC
  • MOQ :

    1
  • :

    40 days
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    40 days
  • E-Mail :

    [email protected]

Mini Single Temperature Zone Schiebe-Pecvd-Rohrofen


Lith-1200-Slidingpec Das System besteht aus TL1200-Vakuumröhrenofen, Quarz-Vakuumkammer, HF-Stromversorgung, GX-Gasversorgungssystem, Pumpsystem und Vakuummesssystem.

Haupteigenschaften:

1. Das Gas in der Quarzvakuumkammer wird durch Hochfrequenzstromversorgung in den ionischen Zustand versetzt.

2. pecvd ist niedriger als normale cvd für die chemische abscheidung aus der vapour.

3. Die Belastung der abgeschiedenen Filme kann durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden.

4. pecvd hat eine hohe ablagerungsrate, gute gleichmäßigkeit, konsistenz und stabilität als normale cvd.

5. weit verbreitet beim Aufwachsen verschiedener Filme wie Siox, Sinx, Sioxny und amorphes Silizium (a-si: h) usw.

das Lith-1200-Slidingpec Systemtechnik für das schwedische kanthal-Widerstandsdrahtheizelement mit Doppelschalenstruktur und 30-Programm-Temperatursteuertabelle, phasenverschiebendem Trigger, Thyristorsteuerung, Ofen mit polykristallinem Aluminiumoxidfasermaterial, Edelstahlflanschdichtung an beiden Enden des Ofenrohrs, Edelstahl-Flansch-Installation verfügt über einen Mund, ein Ventil und ein Manometer, Vakuum, Vakuumgrad kann 10-3 pa erreichen, Tieftemperaturfeldausgleich, Oberflächentemperatur, Temperaturauftrieb, Energieeinsparung, Preiszugeständnisse usw.

1. kanthal a1 widerstanddraht von schweden

kanthal a1 original draht chinesischen widerstand drahtofen gegen importierten widerstand drahtofen

(1) kann eine hohe Oberflächentemperatur 1420 erreichen

(2) Die Oberfläche besteht aus Edelstahl (sehr hell, der Kunde sollte darauf achten), rostet nicht und die Nutzungszeit fällt nicht von der Schlacke ab.

(3) Daten des Kanthal-Widerstandsdrahts werden heruntergeladen

(4) kanthal widerstanddraht website: www.kanthal.com

(5) der Widerstand ist ausgeglichen und das Temperaturfeld ist gleich gut

Die meisten Hersteller verwenden fe-cr-al-Legierungen, die mit einem Widerstandsdraht dotiert sind

manchmal ist der widerstand ungleichmäßig und ein teil der wärme ist klein kanthal a1 der widerstand ist gleichmäßig und wärmegleichgewichtig, guter temperaturfeldeffekt

2. Installation des Luftschalters und des Auslaufschutzes:

Bei einem elektrischen Strom oder einem Leck wird die Verbindung zu einem leeren Meeting automatisch getrennt.

3. kann mit dem Computer verbinden

Dieser Ofen ist mit Kommunikationsschnittstelle und Software ausgestattet, kann direkt durch den Ofencomputer gesteuert werden und kann vom Computer-PV am Ofen und vom Temperaturwert und vom Instrumentenbetrieb, der tatsächlichen Temperatur des Ofenkurvenzeichnungscomputers beobachtet werden Echtzeit und kann die Temperaturdaten jedes Mal halten, kann jederzeit abgerufen werden


4 Kammer

(1 ) Hochqualitativer, hochreiner Aluminiumoxid-Polykristallinfaser-Ofen mit Vakuumabsaugung und Filterformung.

(2). japanische Technologie in Form bringen.

(3). Der Abstand und die Steigung des Widerstandsdrahtes im Ofen werden gemäß der besten thermischen Technologie Japans angeordnet, und das Temperaturfeld wird durch thermische Software simuliert

(4). Mit 4 Wochen Erhitzung ist die Temperatur ausgeglichener

5. optionale ul-zertifizierte elektrische platte (alle durch die ul-zertifizierung importierter elektrogeräte)

6. auslösen

Soft-Start-Strombegrenzungsauslöser Die meisten Hersteller verwenden nicht begrenzende Xamen-Bode-Auslöser

1 Phase Shift-Trigger (mit Sanftanlauf und Strombegrenzungsfunktion)

2. Strombegrenzungsfunktion Unabhängig davon, wie die Heizzeit eingestellt werden soll, ist der Elektroofen nach dem Transformatorsekundärstrom auf 170a oder weniger eingeschränkter Schutz der Ausrüstung begrenzt. nicht begrenzender Auslöser, wenn die Heizrate falsch oder zu schnell eingestellt ist. Niedriger Strom ist sehr groß, das Gerät löst aus oder brennt aus.

3 Soft-Start-Funktion Der Strom erhöht langsam den Strom, und die Auswirkungen des Heizelements sind gering, was die Lebensdauer des Heizelements verlängert

4 Die Schutzfunktion Wenn der Strom den Grenzstrom überschreitet, unterbricht der Abzug automatisch die Abzugsfunktion, um den Stromschutzofen abzuschalten.

7. ul zertifizierter Transformator

1 Das Wandlerkabel besteht aus reinem Kupfer

2 Der Transformator klingt klein

3 Die Transformatorentemperatur ist niedrig

8. eine Vielzahl von Optionen zur Auswahl verschiedener Flansche (Durchmesser von 25 bis 250 mm)

Modell-

lith -1200-slidepecvd1

lith -1200-slidepecvd2

Leistung

1,5 kW

Rohrgröße

dia25 (od) x1250mm

dia50 (od) x1250mm

Gesamtabmessungen (lxdxh)

1800 x 410 x 610

1800 x 460 x 660

die Versorgungsspannung

220 v

Gleitschienenmaterial

304 Edelstahl

Schiebemodus

Edelstahl-Wälzlager

Anzahl der Phase

einzelphase

Heizkörper

Importieren Sie den schwedischen Cantal A1 Widerstandsdraht in den Daten-Download

der Steuermodus

Verwenden des elektrischen Programmsteuerungsthermometers (Standard)
1. Intelligente PID-Einstellung mit 30 Programmsteuertemperaturen.
2. Der Heizkreislauf des Elektroofens kann automatisch abgeschaltet werden, wenn er vor warmem oder versehentlichem Bruch geschützt wurde. (Wenn die Ofentemperatur 1200 Grad überschreitet oder das Thermoelement unterbrochen ist, wird das AC-Relais am Hauptstromkreis automatisch getrennt, der Hauptstromkreis ist unterbrochen, das Licht an der Schalttafel ist aus, das Licht aus und der begrenzte elektrische Schutzofen.
3. mit 485-Kommunikationsschnittstelle (Standard und Standard für die Auswahl der Software)
4. Es hat die Funktion eines Stromausfallschutzes, dh wenn das Gerät ausgeschaltet ist, startet das Programm nicht von der Anfangstemperatur an, aber der Ofen steigt an, wenn das Gerät ausgeschaltet ist.
Das Gerät verfügt über die Funktion der Temperatureinstellung


(Um das importierte Instrument zu ersetzen, müssen wir eine weitere Gebühr zahlen.)

fp93 temperaturregelungstabelle europäische instrumente touchscreen instrument

(shimaden)

der Temperatursteuerungsmodus

pid

sogar Schutz und Anzeige gebrochen

Ja

Übertemperaturschutz

Ja

Überstromschutz

Ja

Kontrolle Präzision

+ / - 1

der Auslöser

Phasenverschiebungstrigger

Elektrogeräte

Zhejiang Chint

Silikongesteuerter Gleichrichter

106 / 16e westtor, deutschland

die höchste Temperatur

Temperaturzone1: 1200 Temperaturzone 2: 1200

die Nenntemperatur

Temperaturzone1: 1100 Temperaturzone 2: 1100

Erwärmungsrate

die 20 / min oder weniger (kann je nach Anforderung ändern )

empfohlene Heizrate

10 / min oder les s

Modell des Thermoelements

Zonen 1: Temperaturbereich von k Typ 2: k Typ

Heizlänge

Zonen 1: Temperaturbereich von 200 mm. 2: 200 mm

elektrische zertifizierung

ce

umgebende Oberflächentemperatur

45 oder les s

HF-Stromversorgung

(Plasmagenerator)

Leistungsbereich

0-500 w

maximale reflektierte Leistung

200 w.

Arbeitsfrequenz

Rf: 13,56 MHz plus oder minus 0,005%

Machtstabilität

+ / - 0,1%

harmonische Komponente

- 50 oder weniger dbc

HF-Breite

0-600 - mm ist einstellbar

Matching-Modus

automatisch

Kühlmodus

Luft kalt

Lärm

das & lt; 50 db

die Funkfrequenzschnittstelle

50 Ω n - Typ

Eingangsleistung

208-240 - v 50/60 Hz

Hauptparameter des Gasversorgungssystems gx

Massendurchflussmesser
der Standardbereich
unter Verwendung der Protonenflusssteuerung 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm
(Sie können den Bereich des Bereichs und die Art des Gases auswählen)
maximaler Arbeitsdruck 3 mp
die Genauigkeit von plus oder minus 1,5%
der Druckabfall & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
Wiederholgenauigkeit plus oder minus 0,2% f.s

Channels:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (optional)

Verbindungstyp

Doppelkassettenstecker aus Edelstahl

Arbeitsdruckbereich des Systems

0,1 ~ 0,5 mpa

Arbeitstemperatur

5-45

Druck-Vakuumuhr

0,1 ~ 0,15 MPa bis 0,01 MPa / Fall

statische Mischkammer

Durchmesser 50 x 400 mm

Schnittstelle

Durchmesser6 1/4 "

die Stromversorgung

220 v

Größe

600 x 600 x 600

Wellrohr

kf25x1000mm

Mit diesem System kann der Vakuumgrad erreicht werden

10-1 die pa

Unterdruckventil

kf25

vrd bis 8 vakuumpumpe

Modell-

vrd bis 8

Begrenzung des Partialdrucks

5 x 10-2 pa

Einlass-Abgasschnittstelle

kf25

Motor Geschwindigkeit

1440 U / min

Extraktionsrate

2,2 l / s

Motorleistung

0,4 kw

perfeer acp1 ölfreie mehrstufige wurzelpumpe (plan 2)

Modell-

acp15

Netzteil

ac100 ~ 240v 50 / 60Hz

Leistung

450 w

Auspuff-Schnittstelle

kf25

Gewicht

25 kg

Die maximale Helium-Leckrate beträgt

5 · 10-8 pa m3 / s

extremer Vakuumgrad

0,02 Torr

Die Extraktionsrate beträgt

14 m3 / h

Modell-

zdr - 1

Leistung

25 w.

vakuum grad messbereich

0,1-10 5 pa

Widerstand Silizium

was zj musste 52 t

schweden (inficon) pirani kapazitätsvakuummeter (optional)

Modell-

pcg554

Eingangsspannung

24 V 1a Gleichstrom (mit 220 V Transformator ausgestattet)

Vakuummeter-Schnittstelle

kf16

Digitaler Bildschirm

Digitalanzeige (Bildschirmgröße 20x14mm), deren Datenanzeigeeinheit Torr ist

Produktgröße

46 mm x 28 mm x 126 mm (l x B x h)

das Gewicht der

5 lbs

Erkennung von Gas

Es können verschiedene Gase erfasst werden, einschließlich gemischter Gase, genau und wiederholbar.

ob der Korrosionsschutz

Korrosionsschutz

die Antwortzeit

30 ms oder weniger

Messbereich

3,8 × 10–5–1125 Torr.

Molekularpumpeneinheit (optional)

Einheit Eingangsspannung

380 V / 220 V

Wellrohr

kf40x1000

Unterdruckventil

kf40

Gehäusegröße

600 x 600 x 600

molekulare Pumpe

Molekularpumpenmodell

FJ620

Eingangsspannung

380 v

Einlassflansch der Molekularpumpe

dn160

Pumpenrate der Molekularpumpe l / s (für Luft)

600

Molekularpumpendruck (pa)

6 x 10-7

Kühlsystem

wassergekühlt

Kühlwasserdruck (mpa)

0,1 bis 0,2

Kühlwassertemperatur

& lt; 25 & lt; p = "" & gt;

die Umgebungstemperatur

0 ~ 40

empfohlener Startdruck

& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

Motorvakuumpumpe RVP - 6

Leistung

0,75 kW

Stromspannung

380 v

Geschwindigkeit

1450 U / min

Einlassdurchmesser

kf25 / kf40

Pumpenpumprate (l / s)

6

Enddruck

4 x 10-2 pa

deutsche pfeiffer vakuumpumpe

Stromspannung

220 v

Leistung

110 w.

Extraktionsschnittstelle

kf40

das Gewicht der

150 kg

Pumpendrehzahl der vorderen Pumpe

0,9 m 3 / h

Extraktionsrate (n2)

33 m / s

Verbundvakuummeter

zusammengesetztes Vakuummetermodell

zdf

die Stromversorgung

220 v 55 w

Kontrolle Präzision

plus oder minus 1%

Messbereich des Vakuummeters

10-5-10 5 pa



PE/CVD Furnace










Paket:

1 Standardexportpaket: interner Antikollisionsschutz, Holzverpackung für den Export.

2 versand durch eil, auf dem luftweg, durch meer nach anforderungen der kunden, um den am besten geeigneten weg zu finden.

3 für den Schaden während des Versandvorgangs verantwortlich, wird das beschädigte Teil für Sie kostenlos ausgetauscht.

Lieferzeit : 15-20 Tage nach Bestätigung der Bestellung sollte der Liefertermin im Detail festgelegt werden

Produktionszeit und Bestellmenge.