Mini Single Temperature Zone Schiebe-Pecvd-Rohrofen

:
LITH-1200-SlidingPEC
MOQ :
1
Compliance:
CE
Warranty:
2 years
Delivery Time:
5 days
E-Mail :
Louis@lithmachine.com

Mini Single Temperature Zone Schiebe-Pecvd-Rohrofen

Lith-1200-Slidingpec Das System besteht aus TL1200-Vakuumröhrenofen, Quarz-Vakuumkammer, HF-Stromversorgung, GX-Gasversorgungssystem, Pumpsystem und Vakuummesssystem.

Haupteigenschaften:

1. Das Gas in der Quarzvakuumkammer wird durch Hochfrequenzstromversorgung in den ionischen Zustand versetzt.

2. pecvd ist niedriger als normale cvd für die chemische abscheidung aus der vapour.

3. Die Belastung der abgeschiedenen Filme kann durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden.

4. pecvd hat eine hohe ablagerungsrate, gute gleichmäßigkeit, konsistenz und stabilität als normale cvd.

5. weit verbreitet beim Aufwachsen verschiedener Filme wie Siox, Sinx, Sioxny und amorphes Silizium (a-si: h) usw.

das Lith-1200-Slidingpec Systemtechnik für das schwedische kanthal-Widerstandsdrahtheizelement mit Doppelschalenstruktur und 30-Programm-Temperatursteuertabelle, phasenverschiebendem Trigger, Thyristorsteuerung, Ofen mit polykristallinem Aluminiumoxidfasermaterial, Edelstahlflanschdichtung an beiden Enden des Ofenrohrs, Edelstahl-Flansch-Installation verfügt über einen Mund, ein Ventil und ein Manometer, Vakuum, Vakuumgrad kann 10-3 pa erreichen, Tieftemperaturfeldausgleich, Oberflächentemperatur, Temperaturauftrieb, Energieeinsparung, Preiszugeständnisse usw.

1. kanthal a1 widerstanddraht von schweden

kanthal a1 original draht chinesischen widerstand drahtofen gegen importierten widerstand drahtofen

(1) kann eine hohe Oberflächentemperatur 1420 erreichen ℃

(2) Die Oberfläche besteht aus Edelstahl (sehr hell, der Kunde sollte darauf achten), rostet nicht und die Nutzungszeit fällt nicht von der Schlacke ab.

(3) Daten des Kanthal-Widerstandsdrahts werden heruntergeladen

(4) kanthal widerstanddraht website: www.kanthal.com

(5) der Widerstand ist ausgeglichen und das Temperaturfeld ist gleich gut

Die meisten Hersteller verwenden fe-cr-al-Legierungen, die mit einem Widerstandsdraht dotiert sind

manchmal ist der widerstand ungleichmäßig und ein teil der wärme ist klein kanthal a1 der widerstand ist gleichmäßig und wärmegleichgewichtig, guter temperaturfeldeffekt

2. Installation des Luftschalters und des Auslaufschutzes:

Bei einem elektrischen Strom oder einem Leck wird die Verbindung zu einem leeren Meeting automatisch getrennt.

3. kann mit dem Computer verbinden

Dieser Ofen ist mit Kommunikationsschnittstelle und Software ausgestattet, kann direkt durch den Ofencomputer gesteuert werden und kann vom Computer-PV am Ofen und vom Temperaturwert und vom Instrumentenbetrieb, der tatsächlichen Temperatur des Ofenkurvenzeichnungscomputers beobachtet werden Echtzeit und kann die Temperaturdaten jedes Mal halten, kann jederzeit abgerufen werden

4 Kammer

(1 ) Hochqualitativer, hochreiner Aluminiumoxid-Polykristallinfaser-Ofen mit Vakuumabsaugung und Filterformung.

(2). japanische Technologie in Form bringen.

(3). Der Abstand und die Steigung des Widerstandsdrahtes im Ofen werden gemäß der besten thermischen Technologie Japans angeordnet, und das Temperaturfeld wird durch thermische Software simuliert

(4). Mit 4 Wochen Erhitzung ist die Temperatur ausgeglichener

5. optionale ul-zertifizierte elektrische platte (alle durch die ul-zertifizierung importierter elektrogeräte)

6. auslösen

Soft-Start-Strombegrenzungsauslöser Die meisten Hersteller verwenden nicht begrenzende Xamen-Bode-Auslöser

1 Phase Shift-Trigger (mit Sanftanlauf und Strombegrenzungsfunktion)

2. Strombegrenzungsfunktion Unabhängig davon, wie die Heizzeit eingestellt werden soll, ist der Elektroofen nach dem Transformatorsekundärstrom auf 170a oder weniger eingeschränkter Schutz der Ausrüstung begrenzt. nicht begrenzender Auslöser, wenn die Heizrate falsch oder zu schnell eingestellt ist. Niedriger Strom ist sehr groß, das Gerät löst aus oder brennt aus.

3 Soft-Start-Funktion Der Strom erhöht langsam den Strom, und die Auswirkungen des Heizelements sind gering, was die Lebensdauer des Heizelements verlängert

4 Die Schutzfunktion Wenn der Strom den Grenzstrom überschreitet, unterbricht der Abzug automatisch die Abzugsfunktion, um den Stromschutzofen abzuschalten.

7. ul zertifizierter Transformator

1 Das Wandlerkabel besteht aus reinem Kupfer

2 Der Transformator klingt klein

3 Die Transformatorentemperatur ist niedrig

8. eine Vielzahl von Optionen zur Auswahl verschiedener Flansche (Durchmesser von 25 bis 250 mm)

Modell-	lith -1200-slidepecvd1		lith -1200-slidepecvd2
Leistung	1,5 kW
Rohrgröße	dia25 (od) x1250mm		dia50 (od) x1250mm
Gesamtabmessungen (lxdxh)	1800 x 410 x 610		1800 x 460 x 660
die Versorgungsspannung	220 v
Gleitschienenmaterial	304 Edelstahl
Schiebemodus	Edelstahl-Wälzlager
Anzahl der Phase	einzelphase
Heizkörper	Importieren Sie den schwedischen Cantal A1 Widerstandsdraht in den Daten-Download
der Steuermodus	Verwenden des elektrischen Programmsteuerungsthermometers (Standard) 1. Intelligente PID-Einstellung mit 30 Programmsteuertemperaturen. 2. Der Heizkreislauf des Elektroofens kann automatisch abgeschaltet werden, wenn er vor warmem oder versehentlichem Bruch geschützt wurde. (Wenn die Ofentemperatur 1200 Grad überschreitet oder das Thermoelement unterbrochen ist, wird das AC-Relais am Hauptstromkreis automatisch getrennt, der Hauptstromkreis ist unterbrochen, das Licht an der Schalttafel ist aus, das Licht aus und der begrenzte elektrische Schutzofen. 3. mit 485-Kommunikationsschnittstelle (Standard und Standard für die Auswahl der Software) 4. Es hat die Funktion eines Stromausfallschutzes, dh wenn das Gerät ausgeschaltet ist, startet das Programm nicht von der Anfangstemperatur an, aber der Ofen steigt an, wenn das Gerät ausgeschaltet ist. Das Gerät verfügt über die Funktion der Temperatureinstellung (Um das importierte Instrument zu ersetzen, müssen wir eine weitere Gebühr zahlen.) fp93 temperaturregelungstabelle europäische instrumente touchscreen instrument (shimaden)
der Temperatursteuerungsmodus	pid
sogar Schutz und Anzeige gebrochen	Ja
Übertemperaturschutz	Ja
Überstromschutz	Ja
Kontrolle Präzision	+ / - 1 ℃
der Auslöser	Phasenverschiebungstrigger
Elektrogeräte	Zhejiang Chint
Silikongesteuerter Gleichrichter	106 / 16e westtor, deutschland
die höchste Temperatur	Temperaturzone1: 1200 ℃ Temperaturzone 2: 1200 ℃
die Nenntemperatur	Temperaturzone1: 1100 ℃ Temperaturzone 2: 1100 ℃
Erwärmungsrate	die 20 ℃ / min oder weniger (kann je nach Anforderung ändern )
empfohlene Heizrate	10 ℃ / min oder les s
Modell des Thermoelements	Zonen 1: Temperaturbereich von k Typ 2: k Typ
Heizlänge	Zonen 1: Temperaturbereich von 200 mm. 2: 200 mm
elektrische zertifizierung	ce
umgebende Oberflächentemperatur	45 ℃ oder les s
HF-Stromversorgung	(Plasmagenerator)
Leistungsbereich	0-500 w
maximale reflektierte Leistung	200 w.
Arbeitsfrequenz	Rf: 13,56 MHz plus oder minus 0,005%
Machtstabilität	+ / - 0,1%
harmonische Komponente	- 50 oder weniger dbc
HF-Breite	0-600 - mm ist einstellbar
Matching-Modus	automatisch
Kühlmodus	Luft kalt
Lärm	das & lt; 50 db
die Funkfrequenzschnittstelle	50 Ω n - Typ
Eingangsleistung	208-240 - v 50/60 Hz
Hauptparameter des Gasversorgungssystems gx	Massendurchflussmesser der Standardbereich unter Verwendung der Protonenflusssteuerung 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm (Sie können den Bereich des Bereichs und die Art des Gases auswählen) maximaler Arbeitsdruck 3 mp die Genauigkeit von plus oder minus 1,5% der Druckabfall & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt; Wiederholgenauigkeit plus oder minus 0,2% f.s
Channels:	1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (optional)
Verbindungstyp	Doppelkassettenstecker aus Edelstahl
Arbeitsdruckbereich des Systems	0,1 ~ 0,5 mpa
Arbeitstemperatur	5-45 ℃
Druck-Vakuumuhr	0,1 ~ 0,15 MPa bis 0,01 MPa / Fall
statische Mischkammer	Durchmesser 50 x 400 mm
Schnittstelle	Durchmesser6 1/4 "
die Stromversorgung	220 v
Größe	600 x 600 x 600
Wellrohr	kf25x1000mm
Mit diesem System kann der Vakuumgrad erreicht werden	10-1 die pa
Unterdruckventil	kf25
vrd bis 8 vakuumpumpe
Modell-		vrd bis 8
Begrenzung des Partialdrucks		5 x 10-2 pa
Einlass-Abgasschnittstelle		kf25
Motor Geschwindigkeit		1440 U / min
Extraktionsrate		2,2 l / s
Motorleistung		0,4 kw
perfeer acp1 ölfreie mehrstufige wurzelpumpe (plan 2)
Modell-		acp15
Netzteil		ac100 ~ 240v 50 / 60Hz
Leistung		450 w
Auspuff-Schnittstelle		kf25
Gewicht		25 kg
Die maximale Helium-Leckrate beträgt		5 · 10-8 pa m3 / s
extremer Vakuumgrad		0,02 Torr
Die Extraktionsrate beträgt		14 m3 / h
Modell-		zdr - 1
Leistung		25 w.
vakuum grad messbereich		0,1-10 5 pa
Widerstand Silizium		was zj musste 52 t
schweden (inficon) pirani kapazitätsvakuummeter (optional)
Modell-		pcg554
Eingangsspannung		24 V 1a Gleichstrom (mit 220 V Transformator ausgestattet)
Vakuummeter-Schnittstelle		kf16
Digitaler Bildschirm		Digitalanzeige (Bildschirmgröße 20x14mm), deren Datenanzeigeeinheit Torr ist
Produktgröße		46 mm x 28 mm x 126 mm (l x B x h)
das Gewicht der		5 lbs
Erkennung von Gas		Es können verschiedene Gase erfasst werden, einschließlich gemischter Gase, genau und wiederholbar.
ob der Korrosionsschutz		Korrosionsschutz
die Antwortzeit		30 ms oder weniger
Messbereich		3,8 × 10–5–1125 Torr.
Molekularpumpeneinheit (optional)
Einheit Eingangsspannung		380 V / 220 V
Wellrohr		kf40x1000
Unterdruckventil		kf40
Gehäusegröße		600 x 600 x 600
molekulare Pumpe
Molekularpumpenmodell		FJ620
Eingangsspannung		380 v
Einlassflansch der Molekularpumpe		dn160
Pumpenrate der Molekularpumpe l / s (für Luft)		600
Molekularpumpendruck (pa)		6 x 10-7
Kühlsystem		wassergekühlt
Kühlwasserdruck (mpa)		0,1 bis 0,2
Kühlwassertemperatur		& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt;
die Umgebungstemperatur		0 ~ 40 ℃
empfohlener Startdruck		& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;
Motorvakuumpumpe RVP - 6
Leistung		0,75 kW
Stromspannung		380 v
Geschwindigkeit		1450 U / min
Einlassdurchmesser		kf25 / kf40
Pumpenpumprate (l / s)		6
Enddruck		4 x 10-2 pa
deutsche pfeiffer vakuumpumpe
Stromspannung		220 v
Leistung		110 w.
Extraktionsschnittstelle		kf40
das Gewicht der		150 kg
Pumpendrehzahl der vorderen Pumpe		0,9 m 3 / h
Extraktionsrate (n2)		33 m / s
Verbundvakuummeter
zusammengesetztes Vakuummetermodell		zdf
die Stromversorgung		220 v 55 w
Kontrolle Präzision		plus oder minus 1%
Messbereich des Vakuummeters		10-5-10 5 pa