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kleines 4 "RTP-Rohrofensystem mit Turbomolekular-Vakuumstation und komplettem Zubehör

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kleines 4 "RTP-Rohrofensystem mit Turbomolekular-Vakuumstation und komplettem Zubehör

kleines 4 "RTP-Rohrofensystem mit Turbomolekular-Vakuumstation und komplettem Zubehör

  • :

    LITH-1200X-RTP-HV-LD
  • MOQ :

    1
  • :

    30 days
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    30 days
  • E-Mail :

    [email protected]

kleines 4 "RTP-Rohrofensystem mit Turbomolekular-Vakuumstation und komplettes Zubehör


lith-1200x-rtp-hv-ld ist ein ul zertifizierbarer, kompakter, thermischer Schnellbehandlungsrohrofen (4 "i.d.) mit Hochvakuumstation (Membranpumpe + Turbomolekularpumpe) und Vakuumflanschbaugruppe kf-d25. Er ist für das Glühen von Halbleiterwafern oder Solarzellen mit einem Durchmesser von bis zu 3" ausgelegt. das Der Ofen wird mit 8 Einheiten 1 kW Halogenlicht um das Verarbeitungsrohr mit einer max. Aufheizrate von max. 50 c / s. Der 50-Segment-Temperaturregler ist mit einer Genauigkeit von +/- 1 eingebaut ° c.


Ofen

Struktur

kompakter 4 “RTP-Rohrofen zweilagiges Stahlgehäuse (Mullit-Liner)

Heizkörper

8 Stück Halogenlichtröhre (d = 10 l = 300 t = 200 mm)

Arbeitstemp.

1100 ° C max. ( Die maximale Haltezeit dieses RTP-Ofens darf bei 1000 ° C ~ 1100 ° C weniger als 600 Sekunden betragen, andernfalls kann der O-Ring schmelzen )

max heizrate

50 ° C / s

max kühlrate

64 ° C / min (unter Vakuum: 200 mtorr), 117 ° C / min (unter Atmosphärendruck)

Heizzone

12 "Länge mit 4" konstanter Temperaturzone innerhalb von +/- 1 ° C Gleichmäßigkeit

Programmtemp. Regler

  • pid automatische steuerung über scr (Silizium-Gleichrichter) Leistungsregelung mit Phasenanschnitt, Strombegrenzungswiderstand.
  • 30 programmierbare Segmente zur genauen Steuerung von Heizrate, Kühlrate und Verweilzeit.
  • Klicken Sie hier, um zu erfahren, warum scr ist genauer als ssc (Halbleiterrelais).
  • eingebaute Pid-Auto-Tune-Funktion mit Überhitzung & Amp; gebrochenes Thermoelement gebrochener Schutz.
  • Übertemperaturschutz und Alarm ermöglichen den Betrieb ohne Begleiter.
  • +/- 1 º C Temperaturgenauigkeit.
  • RS485 Kommunikationsanschluss.
  • PC-Steuerung:
    • ein mts-02 Kontroll Modul ist für die PC-Steuerung in diesem Ofen enthalten.
    • Die neue Version des PC-Moduls ist jetzt mit der Laboransicht 05.08.2014 kompatibel
    • Ein Laptop-PC kann für 900 $ zusammen mit dem Ofen bestellt werden. Wir empfehlen, einen Computer (Laptop) bei uns zu bestellen, um Probleme bei der Softwareinstallation zu vermeiden Wir führen vor dem Versand Installation und Tests durch .

Quarzrohr & amp; Beispiel halter

  • Quarzrohrgröße: 4,33 "o.d x 4,05" i.d x 16,2 "Länge
  • Der Probenhalter mit 3 "Durchmesser wird in den aus Quarz gefertigten Gleitflansch eingesetzt
  • Ein Alu-Wafer mit 3 "Durchmesser wird in der Mitte des Halters platziert, um eine Probe mit einem Durchmesser von bis zu 3" zu glühen.
  • aln hat eine sehr hohe Wärmeleitfähigkeit, was für die beste Temperaturgleichmäßigkeit im Probenbereich sorgt
  • Der Probenhalter ist vom Flansch abnehmbar

Vakuumflansch

kf-d25 hochvakuumflansch ist aus edelstahl mit doppelter temp. Silikon-O-Ringe, Nadelventile.
Der Schiebeflansch erleichtert das Laden der Proben. 3 "Quarzprobenhalter. Einsteckbares Thermoelement für genaue Messung.

Wasserkühlmantel

  • Kühlwasser ist erforderlich.
  • Stellen Sie sicher, dass die Durchflussmenge des Kühlwassers ≥ 10 l / min ist, Wassertemperatur. & lt; 25ºc; Druck & gt; 25 psi.
  • Wir empfehlen die Verwendung der EQ-KJ5000-Serie Umlaufwasserkühler als Kühlsystem (bitte separat bestellen bei verwandten Produkten), um Wasser zu sparen.

Warnung: Die maximale Verweildauer dieses RTP-Ofens darf bei 1000 ° C ~ 1100 ° C mit Leitungswasser weniger als 600 Sekunden betragen, da sonst der O-Ring schmelzen kann. Bei Verwendung eines Umlaufwasserkühlers kann diese Haltezeit auf 1200 Sekunden verlängert werden.

Durchflussmesser

Ein Durchflussmesser ist an der Frontplatte installiert, um den Gasfluss von 0 - 160 ml / min einzustellen

Leistungsaufnahme

208-240 Wechselstrom, 50/60 Hz einphasig, max. 9 kW (& gt; 60a Brecher erforderlich)

hv station
Hochvakuumstation

Struktur

  • Größe des mobilen Wagens: 600 (l) x 600 (w) x 700 (w), mm
  • max. Laden: 600 Pfund an der Spitze
  • Bedienfeld für Molekularpumpe: LCD-Digital
  • Membranpumpe und Turbomolekularpumpe sind im Stahlgehäuse installiert.

Vakuumgrad

6,3e-5 mbar (mit 4 "RTP-Rohrofen in 40 Minuten)

Schalttafel

  • Einknopfbedienung - Die Membranpumpe und die Turbomolekularpumpe starten nach Drücken der Taste "Start".
  • systemgesteuerte Drehgeschwindigkeit - Die Steuerung regelt die Drehzahl der Turbine entsprechend dem Vakuum und der Leckrate der Reaktionskammer.
  • Selbstschutz - Das System schützt die Pumpe vor Beschädigung durch Überhitzung und Überfettung, wenn die Leckrate der Reaktionskammer zu hoch ist, um ein hohes Vakuum zu erreichen.
  • LCD Bildschirm - Doppellinien-Parameterüberprüfung das Arbeiten einfacher machen.
Selbsttest aufdrehen

Startzeit

2 Minuten

Volumenstrom der Vorvakuumpumpe bei 10 mbar

3,8 l / min für 50 Hz und 4,4 l / min für 60 Hz

Leistungsaufnahme

110 V AC oder 220 V AC umschaltbar, 50/60 Hz

Energieverbrauch

Dauer / maximale Leistung: 100/110 Watt

Versandinformation

Gewicht und Dimension

RT-Ofen: 110 lbs, 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 "inch) L x B x h
hv station: 40 lbs, 600 x 600 x 700 mm (24 "x 24" x 28 ") l x b x h

Garantie

Zwei Jahre eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung (Verschleißteile wie Bearbeitungsrohre und O-Ringe fallen nicht unter die Garantie. Bitte bestellen Sie Ersatzprodukte bei den unten aufgeführten Produkten.)

Laptop, Software & amp; WLAN-Steuerung (optional)

  • brandneuer Laptop mit Microsoft Windows 10 und Microsoft Office 2013 (30 Tage kostenlose Testversion) zur sofortigen Verwendung.
  • Labview-basiertes Temperaturkontrollsystem Benutzer können das Temperaturprofil bearbeiten, das Wärmebehandlungsrezept verwalten, Daten für mti-Öfen aufzeichnen und darstellen.
  • Eine drahtlose Fernbedienung bietet eine Reichweite von bis zu 300 Metern.
  • Die oben genannten Funktionen sind auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich (bis zu 1.000 USD). Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.

Beachtung

  • ce zertifiziert
  • der ofen ist bereit, ul 61010, iec 61010, spe-1000, das von nrtls getestet wurde, zu übergeben. Bitte kontaktieren Sie uns für ein Angebot und detaillierte Informationen.
  • Temperaturregler ist erfüllt und CE-zertifiziert
  • Hochvakuumstation ist TÜV-zertifiziert



Tube Furnace









Paket:

1 Standardexportpaket: interner Antikollisionsschutz, Holzverpackung für den Export.

2 versand durch eil, auf dem luftweg, durch meer nach anforderungen der kunden, um den am besten geeigneten weg zu finden.

3 für den Schaden während des Versandvorgangs verantwortlich, wird das beschädigte Teil für Sie kostenlos ausgetauscht.

Lieferzeit : 15-20 Tage nach Bestätigung der Bestellung sollte der Liefertermin im Detail festgelegt werden

Produktionszeit und Bestellmenge.