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Hochtemperaturofen mit 1200 ° C, Hochfrequenzgenerator, Gasmischung und Pumpsystem

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  • Contact Person : Louis Yang
  • E-Mail : Louis@lithmachine.com
  • Adresse : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
Hochtemperaturofen mit 1200 ° C, Hochfrequenzgenerator, Gasmischung und Pumpsystem Hochtemperaturofen mit 1200 ° C, Hochfrequenzgenerator, Gasmischung und Pumpsystem

Hochtemperaturofen mit 1200 ° C, Hochfrequenzgenerator, Gasmischung und Pumpsystem

  • :

    LITH-1200PECVD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    5 days
  • E-Mail :

    Louis@lithmachine.com

Hochtemperatur-Ofen mit 1200 ° C und Hochfrequenzgenerator & amp; Gasmischung & amp; Pumpsystem



Lith-1200pecvd Chemische Gasphasenabscheidung (cvd) und plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (pecvd) Mehrzonen-Spaltrohröfen zeichnen sich durch die berühmten Eigenschaften aus kanthal & reg; (schweden) drahtheizelemente in hoher qualität eingebettet mitsubishi & reg; (Japan) Aluminiumoxidfaserisolierung. Das Dual-Layer-Stahlgehäuse sorgt für Langlebigkeit und minimiert den Wärmeverlust an der Außenfläche.

Ofenbetrieb wird gesteuert durch shimaden & reg; (Japan) 40-Segment-Digitalregler mit integriertem RS485-Digitalkommunikationsanschluss und USB-Adapter, über den der Benutzer eine Verbindung zu einem PC herstellen kann, um den Ofen fernzusteuern und zu überwachen. Sie können Testergebnisse auch speichern oder exportieren.

Alle unsere Öfen sind CE-konform.

Eigenschaften

1 kompaktes, tragbares und leichtes Design.

2 im vergleich zu herkömmlichen cvds sind niedrigere verarbeitungstemperaturen erforderlich.

3 Die Filmspannung kann durch Mischtechniken mit hoher / niedriger Frequenz gesteuert werden.

4 Geteilte Ofenkammer für schnellen und einfachen Zugang zum Rohr.

5 Das Standardpaket enthält einen Satz Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit Ventilen und Druckmesser.

6 Die mikroprozessorbasierte PID-Regelung mit Selbstoptimierung sorgt für einen optimalen thermischen Prozess bei minimalem Überschwingen.

7 Prozesse mit mehreren Atmosphären in einem Zyklus sind möglich (z. B .: Ausbrennen des Bindemittels in Luft und Sintern der Teile unter rauem Vakuum oder Inertgas).

8 Integriertes Ampere- und Doppelvoltmeter für einfache Überwachung und Fehlerbehebung.

9 Eingebaute Computerschnittstelle.

10 langlebiges Thermoelement vom Typ k.

11 Die verschiebbare Ofenoption bietet Ihnen ultraschnelle Abkühlraten

Sicherheit

1 Der Überhitzungsschutz schaltet den Ofen ab, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Handbuch des Reglers) oder wenn das Thermoelement defekt ist oder Funktionsstörungen aufweist.

2 Der Stromausfallschutz nimmt den Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfall wieder auf, wenn die Stromversorgung wiederhergestellt ist.

Warnung! Befüllen Sie den Ofen niemals mit explosiven Gasen, einschließlich Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Methan.


Spezifikationen des Ofens, der Vakuumpumpe und des Gasmischsystems

Schlauchmaterial

Quarz

Heizkörper

kanthal & reg; (Schweden) Widerstandsspulendraht

max. gegen konstante Arbeitstemperaturen

1200 ° C max. und 1100 ° C konstant

Thermoelementtyp

k

feuerfeste Auskleidung

mitsubishi & reg; (Japan) 1500er Faser-Aluminiumoxid

Temperaturregler

shimaden & reg; (japan) fp93 mit 4 programmen und 40 segmenten
(dh 4 x 10 Segmente oder 2 x 20 Segmente)

maximale Erwärmung & amp; Kühlrate

& lt; 30 ° C / min

Präzision des Temperaturreglers

+/- 1 ° C

Vakuumdichtungsflansch-Kit

Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit einem Vakuummeter,
zwei Ventile und vier Thermokeramikblöcke.

Elektrische Anforderungen

208-240 Vac, 50/60 Hz, einphasig



HF-Generator Spezifikationen

Elektrische Anforderungen

208-240 Volt 50/60 Hz

Ausgangsleistung

5 bis 500 Watt, einstellbar in Schritten von +/- 1%

HF-Frequenz

13 MHz mit +/- 0,005% Stabilität

Reflexionskraft

200 Watt max.

passend

automatisch

HF-Ausgang

50 Ω, n-Typ, weiblich

Kühlung

Luft

Standardpaket

Teilebeschreibung

Menge

Teilbild

Spaltrohrofen

1 Satz

Mehrkanal-Gasversorgungssystem

1 Satz

Plasma-HF-Netzteil (optional)

1 Satz

Vakuumpumpe und Gehäuse (optional)

1 Satz

Quarzrohr

1 Stck

analoger Durchflussmesser

1 Stck

Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit Druckmesser

1 Satz



Edelstahlhaken

1 Stck



Thermoblock aus Aluminiumoxidkeramik

2 Paar



Thermohandschuhe

1 Paar

Ersatzsicherung

2 Stück

USB / RS485-Computer-Interface-Kit

1 Satz





PE/CVD Furnace

PE/CVD Furnace










Paket:

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den Schaden während des Versandprozesses, wird das beschädigte Teil für Sie kostenlos ändern.

Lieferzeit : 15-20 tage nach der bestätigung der bestellung, detail lieferdatum sollte bestimmt werden nach

Produktionszeit und Bestellmenge.