Kompakte DC-Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage mit SPS-Integration
vtc-16-sm ist ein hohe Energie Desktop Magnetron Plasma-Sputter-Coater mit einer Wasserkühlung 2 "Zielkopf , Wasserkühler und drehbarer Probenhalter. Die Beschichtungsanlage ist für die Beschichtung aller Metallfolien bis zu ausgelegt 4 "Waferdurchmesser einschließlich zn, al, ti und Kohlenstoff Lichtfilm zu einem erschwinglichen Preis. Ein einzelnes Ziel ist für die sofortige Verwendung enthalten. ( seit dem 18. mai 2015 wird dieses produkt nicht mehr mit vakuumpumpe in der standardverpackung geliefert. )
Spezifikationen
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Eingangsspannung
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220 VAC 50/60 Hz
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110 V Spannung steht zur Verfügung, wenn a verwendet wird 1000 W Transformator (15 A Sicherung) ). Der Transformator ist separat erhältlich.
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Ausgangsleistung
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1600 VDC
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250 w
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150 ma max.
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eingebauter Überstromschutz (& gt; 150 ma)
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Probenkammer
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Quarzglasrohr, 165 mm od. dgl. x 150 mm Innendurchmesser x 250 mm Höhe
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Sputterkopf & amp;
Probentisch
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Ein flexibler 2 “Magnetron-Sputterkopf mit Wasserkühlungsmantel ist im Lieferumfang enthalten (Abb. 1).
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Ein Probentisch aus Edelstahl mit einem Durchmesser von 50 mm ist von 0 bis 5 U / min drehbar
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Ein manuell betätigter Verschluss für den Zielschutz. (Abb.2)
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Der Sputterkopfhalter ist verfügbar, um den Sputterkopf im Ruhezustand zu halten.
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Der Abstand zwischen Sputterkopf und Probentisch ist von 60 - 100 mm einstellbar.
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maximale Beschichtungsfläche: 4 "Durchmesser max.
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ein Luft kalt Umlaufwasserkühler 10 l / min Durchfluss wird zur Kühlung des Sputterkopfes mitgeliefert. (Abb.6)
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Schalttafel
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6 "-Farb-Touchscreen-Bedienfeld mit SPS-Integration für einfache Bedienung
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Ein Panel für alle Parameter überwachen und steuern: Vakuum, Strom.
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ultimativer Vakuumdruck
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eingebauter kf25 vakuumanschluss
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Das System benötigt einen Ar-Gastank mit Druckregler. (nicht enthalten)
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& lt; 1,0e-2 Torr durch Flügelvakuumpumpe (nicht im Lieferumfang enthalten) für au, ag, pt, cu, mo Ziele (nicht luftempfindlich)
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& lt; 1,0e-5 Torr durch Turbomolekularpumpe (nicht im Lieferumfang enthalten) für al-, mg-, li-, lr-, ti-, zn-Ziele (luftempfindlich)
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das niedrigste Vakuum kann & lt; 4,0e-6 Torr durch Pumpen über Nacht und Backen
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Gasatmosphäre
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Ein Nadelventil installiert, damit ein Gaseinlass eine bessere Plasmabeschichtung erzielen kann
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das system benötigt einen ar gas tank mit druckregler (nicht im lieferumfang enthalten)
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Ziel
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· Ein 2 "Kupfertarget wird zum Testen mitgeliefert. Targetgröße: 2" Durchmesser x 2,5 mm.
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es kann auch beschichten ag, al, cr, ni, pt, ti, sn, li, mg usw. fast jede Art von metallischem Material.
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Warnung : Aluminium-, Chrom- oder Nickel-Target kann mit dieser Maschine beschichtet werden. Lesen Sie jedoch vor der Verwendung die empfohlene Beschichtungsmethode.
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Bitte verwenden Sie HF-Plasma-Magnetron-Sputtern zum Beschichten von Aluminiumoxid
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Optionale Filmdickenüberwachung
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Der Filmdickenmonitor ist gegen Aufpreis optional erhältlich
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beheizbarer Probentisch bis 500 ° C ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich
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Ein Durchflussmesser für den genauen Gaseinlass ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich.
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Gesamtabmessungen
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L 440 mm × B 330 mm × H 290 mm
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Nettogewicht
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Versandgewicht & amp; Abmessungen
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Beachtung
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ce Zustimmung
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Eine nrtl-Zertifizierung ist auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich. Bitte wenden Sie sich an unseren Vertriebsmitarbeiter, um ein Angebot zu erhalten.
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Garantie
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Ein Jahr begrenzt mit lebenslanger Unterstützung
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Anwendungshinweise
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Warnung: Der Sputterkopf wird an Hochspannung angeschlossen. Der Bediener muss während des Betriebs Handschuhe tragen
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Stellen Sie sicher, dass das Target, der Sputterkopf, das Substrat und die Heizstufe vor dem Beschichten sauber sind. Verwenden Sie Sandpapier und Alkohol, um das Al- oder Nickeltarget jedes Mal zu reinigen und zu erneuern.
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Paket:
1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.
2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.
3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird das beschädigte teil für sie kostenlos ändern.
Lieferzeit : 15-20 tage nach der bestätigung der bestellung, detail lieferdatum sollte bestimmt werden nach
Produktionszeit und Bestellmenge.
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