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Merkmal
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speziell zum beschichten von leitfähigem goldfilm für sem probe entwickelt
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Kompakter Plasma-Sputter-Coater für Metallic-Beschichtungen wie Gold, Platin und Silber
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ein 2 "Gold (4n) Ziel ist enthalten
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Eingangsspannung
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220 VAC 50/60 Hz, 200 W
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& lt; 1000 W (einschließlich Vakuumpumpenleistung)
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110 V Wechselstrom ist verfügbar, wenn a verwendet wird 1000 W Transformator (15 A Sicherung) . Der Transformator ist separat erhältlich
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Ausgangsspannung
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Sputterstrom
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0 - 50 ma (max.) Einstellbarer Sputterstrom
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digitaler Strommesser (ma)
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Überstromschutz
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Sputterzeit
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1 -120 Sekunden einstellbar
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Probenkammer
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Quarzglasrohr, 165 mm od. dgl. x 150 mm Innendurchmesser x 150 mm Höhe
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Probentisch
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2 "Durchmesser
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Höhenverstellbar, 30 - 80 mm von der Probe zum Ziel
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Sputterkopf
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2 "Magnetron-Sputterkopf
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Ein manuell betätigter Verschluss für den Zielschutz
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Vakuumdruck
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digitaler Vakuumdruckmesser (pa)
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kf25 Vakuumpumpenanschluss
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Endvakuumdruck 1 pa durch die mechanische Pumpe. Die Pumpe ist nicht im Lieferumfang enthalten
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Vakuumpumpe (optional)
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Empfohlen wird die zweistufige Drehschieberpumpe eq-fyp.
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Optional: Sie können ein Turbopumpe um ein Vakuum von 1,0 bis 5 Torr mit einer Turbopumpe zu erreichen (klicken Sie auf das Bild unten rechts)
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Eingangsgas
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Zum Anschluss der Inertgasflasche ist ein 1/4 Swagelok-Rohrverschraubung installiert
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In der Frontplatte befindet sich ein Dosierventil zur Einstellung des Eingangsgases
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Ziel
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ein 50mm dia. x 0,12 mm goldenes Ziel ist enthalten
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4n-Reinheitsgoldfolie: 50 mm (2 Zoll) Durchmesser x 0,12 mm (im Lieferumfang enthalten und auf dem Beschichter vorinstalliert)
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Optionale Ziele sind verfügbar
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au Ziel (50 mm Durchmesser x 0,12 mm, 4n Reinheit)
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pt Ziel (50 mm Durchmesser x 0,12 mm, 4n Reinheit)
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ag ziel (50 mm Durchmesser x 0,5 mm, 4n Reinheit)
Dieses Modell eignet sich für die Beschichtung von Gold, Silber und Platin. es ist aufgrund der geringen Energie nicht zum Beschichten von leichtmetallischem Material wie Al, mg, Zn oder Kohlenstoff-Target geeignet. Bitte beachten Sie unseren Hochleistungs-DC / RF-Magnetron-Sputter-Coater oder thermischen Verdampfungs-Coater.
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Produktabmessung und Gewicht
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460 mm (l) × 330 mm (B) × 520 mm (H)
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20kg
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Versandgewicht & amp; Abmessungen
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Beachtung
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ce zertifiziert
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Bereit, die UL / CSA-Zertifizierung gegen Aufpreis zu bestehen.
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Garantie
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Ein Jahr begrenzt mit lebenslanger Unterstützung
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Anwendungshinweise
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Reinigen Sie die Oberfläche des Untergrunds vor dem Beschichten, um eine optimale Haftung des Untergrunds zu erzielen:
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Ultraschallreinigung (klicken Sie zur Bestellung auf das Bild unten) mit den folgenden aufeinanderfolgenden Bädern - (1) Aceton, (2) Isopropylalkohol - zum Entfernen von Öl und Fett. Föhnen Sie das Substrat mit n2 und backen Sie es dann im Vakuum heiß, um die absorbierte Feuchtigkeit zu entfernen
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Die Plasma-Reinigung (klicken Sie zur Bestellung auf das Bild unten) kann zum Aufrauen der Oberfläche, zur Aktivierung chemischer Oberflächenbindungen oder zur zusätzlichen Entfernung von Verunreinigungen erforderlich sein
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Eine dünne Pufferschicht (~ 5 nm), wie z. B. cr, ti, mo, ta, könnte aufgebracht werden, um die Haftung von Metallen und Legierungen zu verbessern
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Ein zweistufiger Druckregler (nicht im Lieferumfang enthalten) sollte an der Gasflasche installiert werden, um den Ausgangsdruck des Gases zur sicheren Verwendung auf unter 0,02 mpa zu begrenzen. Bitte verwenden Sie & gt; 5n Reinstgas für das Plasmasputtern
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Der Sputter-Coater kann zum Beschichten in eine ar- und n2-Gashandschuhbox gegeben werden
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Bitte mehrfach auftragen, um die Schichtdicke zu erhöhen. Lassen Sie die Maschine zwischen jedem Gebrauch einige Minuten abkühlen, da sie keine Wasserkühlung hat
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Hochspannung! Sputterköpfe werden an Hochspannung angeschlossen. Aus Sicherheitsgründen muss der Bediener das Gerät abschalten, bevor Proben geladen und Zielwechselvorgänge durchgeführt werden
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Dieses Modell ist aufgrund der geringen Energie nicht für die Beschichtung von leichtmetallischem Material wie Al, mg, Zn oder Kohlenstoff geeignet. Bitte beachten Sie unseren Magnetron Sputter Coater oder Thermal Evaporation Coater. (Bilder unten für Details anklicken)
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Louis@lithmachine.com
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