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Struktur & amp; Eigenschaften
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6 "x 10" h Quarzkammer für einfache Reinigung und Probenbeschickung
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Drehbarer Probenhalter mit 2 "Durchmesser für gleichmäßige Filmbeschichtung
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Wolframwendelheizung und Aluminiumoxidtiegel für Hochtemperaturbeschichtungen bis 1700 ° C
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Präzisions-Temperaturregelung mit 30 programmierbaren Segmenten und einer Genauigkeit von +/- 1 ° C
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Über eine optionale Turbopumpe kann ein Hochvakuum von bis zu 1,0 bis 5 Torr erreicht werden
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Gasdurchflussöffnung und -ventil sind für eine Kammerspülung und eine DVD-Möglichkeit eingebaut
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Eingangsleistung
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Eingangsspannung: 208 - 240 VAC 50/60 Hz, einphasig
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Eingangsleistung: 500 W
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Ausgangsleistung: 40 a max Strom. Empfohlener Arbeitsstrom & lt; 20 a
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Netzkabel ohne Stecker mitgeliefert
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Temperaturregelung & amp; Heizungen
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Die Wolframwendelheizung mit Thermoelement ist am Boden des Aluminiumtiegels eingebaut (zur Temperaturregelung (Abb. 1). Die Abmessungen entnehmen Sie bitte dem linken Bild
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Standard-Thermoelement vom Typ s (im Lieferumfang enthalten und installiert) - Heizung von 200 ° C - 1500 ° C (Abb. 2)
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Optionales Thermoelement vom Typ B (gegen Aufpreis) - Heizung von 1200 ºC bis 1700 ºC
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ein digitaler Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten und einer Genauigkeit von +/- 1 ° C (Abb. 3)
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Die Zeiteinstellungen des Temperaturreglers erfolgen in Sekunden. Es wird empfohlen, die Aufheiz- / Abkühlgeschwindigkeit auf 0,3 ° C / s (oder 20 ° C / min) unter 1200 ° C und von 1200 bis 1700 ° C auf 0,15 ° C / s (oder 10 ° C / min) zu begrenzen
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für kontinuierliches Erhitzen über 1300 ºc, bitte begrenzen Sie die Betriebszeit auf weniger als 1 Stunde, um die Lebensdauer des O-Rings am unteren Flansch zu erhalten
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Für eine schnelle Beschichtung bis zu 2000 ° C, wie sie beispielsweise bei der Kohlenstoffbeschichtung erforderlich ist, kann der Benutzer das Thermoelement, den Aluminiumoxid-Wärmeblock und den Aluminiumoxid-Tiegel entfernen, Verdampfungsmaterial direkt in die Wolframwendelheizung laden und den aktuellen manuellen Steuermodus verwenden (Abb. 4) )
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Im Lieferumfang sind vier Aluminiumoxid-Tiegel (bis zu 1700 ° C) und zwei Wolfram-Heizregister enthalten. Informationen zur Bestellung von Ersatzteilen finden Sie im optionalen Abschnitt
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Beispiel halter
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ein 50 mm dia. Der drehbare Probentisch und sein Verschluss sind am oberen Flansch angebracht.
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Drehzahl: 5 U / min
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Der Abstand vom Probenhalter zur Verdampfungsquelle ist von 40 mm bis 85 mm einstellbar
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Filmdickenmonitor (optional)
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Präzisions-Quarz-Dickensensor es ist optional. Es kann in die Kammer eingebaut werden, um eine sofortige Filmdickenüberwachung mit einer Genauigkeit von 0,10 Å zu ermöglichen. LED-Anzeigeeinheit außerhalb der Kammer kann:
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Informationen zum Beschichtungsmaterial basierend auf der enthaltenen Datenbank eingeben
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Anzeige der Gesamtschichtdicke und der Beschichtungsgeschwindigkeit
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Präzision Dünnfilm & amp; Beschichtungsanalysesysteme - eq-tfms-ld ist gegen Aufpreis erhältlich
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Vakuum
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Der Vakuumanschluss kf25 ist für den Anschluss an eine Vakuumpumpe installiert
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Das höchste Vakuum kann & lt; 4,0 bis 6 Torr erreichen, indem über Nacht mit einer optionalen Turbomolekularpumpe gepumpt wird
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Zum Beschichten wird eine Vakuumpumpe benötigt. Bitte wählen Sie aus den folgenden Produktoptionen
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keine Vakuumpumpe. Korrosionsschutz-Kapazitätsmessmembrane ist enthalten für Vakuum bis 1.0e-6 Torr
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zweistufige Drehschiebervakuumpumpe mit Kondensatableiter zur Beseitigung des Ölnebels, der zum Verdampfen von Edelmetallmaterialien wie Gold, Silber und organischen Materialien ein Vakuum von bis zu 1,0 bis 2 Torr erreichen kann.
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Gaseinlass
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1/4 Rohrverschraubung ist für die Kammerspülung oder Formiergasverarbeitung eingebaut
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Ein Nadelventil ist eingebaut, um die Gasdurchflussrate zu steuern
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wahlweise
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extra Aluminiumoxid-Tiegel und Wolframwendelheizung kann gegen Aufpreis bei tmax bestellt werden
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Insgesamt 4 Tiegel mit Verdampfungsquellen könnten verwendet werden, um mehrere verschiedene Materialien abzuscheiden, um mehrere Schichten nacheinander in derselben Kammeratmosphäre zu züchten.
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Gesamtabmessungen
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Quarzkammerdimension
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o.d.:165mm
Innendurchmesser: 150 mm
Länge: 250 mm
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Beachtung
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Garantie
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1 Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslange Unterstützung
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Nettogewicht
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Versandgewicht & amp; Maße
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40 "x 30" x 32 "(130 lbs)
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Anwendungshinweise
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Um das für das Verdampfen einiger Materialien erforderliche Hochvakuum zu erreichen, kann der Benutzer
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Überprüfen Sie die Kammer, den O-Ring und den Flansch auf Partikel, Fasern oder Kratzer. Wischen Sie die Oberfläche mit einem mit Isopropylalkohol (ipa) angefeuchteten, fusselfreien Tuch ab
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Verwenden Sie Heizband, um die Kammer bei 150 ° C zu backen, und erwärmen Sie die Heizschlange und den Tiegel bei 500 ° C, während Sie mindestens 2 Stunden mit der optionalen Turbopumpe pumpen
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Pumpe die Kammer über Nacht ohne Erhitzen, wenn ein Vakuum von mehr als 1,0 bis 5 Torr benötigt wird
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Der Beschichter kann zur thermischen Verdampfung von Bescheidenheit & amp; sauerstoffempfindliche Materialien wie Li-Metall.
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Starten Sie das Heizprogramm nicht und erhöhen Sie den Strom nicht manuell ohne geschlossene Kammer und Vakuum!
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Lassen Sie das Vakuum nicht los und stoppen Sie nicht das Pumpen, wenn sich der Beschichter im Verdampfungsbetrieb befindet! Unterbrechen Sie während des Abkühlens des Heizgeräts das Pumpen oder lassen Sie das Vakuum erst dann ab, wenn die Temperatur unter 100 ° C gesunken ist!
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