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Eingangsleistung
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220 Vac, 50/60 Hz, einphasig
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800 W (einschließlich Pumpe)
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Wenn die Spannung 110 VAC beträgt, wird ein 1000-W-Transformator benötigt. Klicken Sie zum Bestellen auf das linke Bild
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Quellleistung
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ein 13,5 mhz, 300 w rf generator mit automatischer anpassung Funktion ist im Schrank eingebaut und an 2 "Sputterkopf angeschlossen.
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Optional: Für die Beschichtung von metallischem Material ist eine Gleichstrom-Zerstäubungsquelle erhältlich
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Magnetron-Sputterkopf
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Ein 2 "Magnetron-Sputterkopf mit Wasserkühlung wird mitgeliefert und über eine Schnellklemme in die Quarzkammer eingeführt
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Ein Verschluss befindet sich am Flansch (manuell betätigt)
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Zur Kühlung von Magnetron-Sputterköpfen wird ein digital gesteuerter Umlaufwasserkühler mit 16 l / min benötigt
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1 "Sputterkopf ist austauschbar und optional gegen Aufpreis erhältlich
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Das 148-cm-HF-Kabel ist gegen Aufpreis austauschbar
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Sputtertarget
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Zielgrößenanforderung: 2 "Durchmesser x 1/4" Dicke max
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ein sio2 target ist für den demotest enthalten.
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Al2O3 Keramik Target Beschichtungsmethode empfehlen
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Optionale 2 "Sputtertargets (mit Trägerplatte) sind auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich.
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Vakuumkammer
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Vakuumkammer: 160 mm Durchmesser x 150 mm Innendurchmesser x 250 mm Höhe. aus hochreinem Quarz
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Dichtflansch: Ø 165 mm aus Aluminium mit Hochtemperatur-Silikon-O-Ring
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Die Abdeckung aus Edelstahlgewebe schützt die Kammer zu 100% vor HF-Strahlung
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Vakuumniveau: 1,0e-2 Torr mit integrierter zweistufiger mechanischer Pumpe und 1,0e-5 Torr mit optionaler Turbopumpe
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Beispiel halter
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Der Probenhalter ist drehbar und beheizbar und besteht aus einer Keramikheizung mit Edelstahlabdeckung
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Größe des Probenhalters: Ø 50 mm für 2 "Wafer max
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drehzahl ist einstellbar: 1 - 10 rpm für gleichmäßige beschichtung
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die haltetemperatur ist über einen digitalen temperaturregler von rt bis max. 500 ° c mit einer genauigkeit von +/- 1,0 ° c einstellbar.
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800-1000 ° C Heizprobenhalter sind auf Anfrage auf Anfrage erhältlich.
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Optional ist ein Vibrations-Probenhalter für die Power-DVD-Beschichtung erhältlich. (Bild 3 unten)
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Vakuumpumpstation
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Der Vakuumanschluss kf25 ist für den Anschluss an eine Vakuumpumpe eingebaut.
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eine vakuumpumpe mit kf25 adapter wird benötigt, ist aber nicht im lieferumfang enthalten .. bitte klicken sie auf das bild, um es separat zu bestellen.
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Vakuumniveau: 1,0e-2 Torr mit zweistufiger mechanischer Pumpe und 1,0e-5 Torr mit der Turbopumpe
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wahlweise
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Optional ist ein Präzisions-Quarz-Dickensensor erhältlich, der in die Kammer eingebaut werden kann, um die Schichtdicke mit einer Genauigkeit von 0,10 Å zu überwachen. Der Laptop wird für die Bildschirmstärke benötigt
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Gesamtabmessungen
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Nettogewicht
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Garantie & amp; Beachtung
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Ein Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung
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ce zertifiziert
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Eine nrtl- oder csa-Zertifizierung ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich
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Anwendungshinweise
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Dieser kompakte 2-Zoll-Hochfrequenz-Magnetron-Sputter-Coater wurde für die Beschichtung von Oxid-Dünnfilmen auf Oxid-Einkristallsubstraten entwickelt, für die normalerweise kein Hochvakuum erforderlich ist
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Bitte verwenden Sie & gt; 5n Reinstgas für das Plasmasputtern
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Reinigen Sie die Oberfläche des Untergrunds vor dem Beschichten, um eine optimale Haftung des Untergrunds zu erzielen:
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Ultraschallreinigung mit den folgenden aufeinanderfolgenden Bädern - (1) Aceton, (2) Isopropylalkohol - zum Entfernen von Öl und Fett. Föhnen Sie das Substrat mit n2 und backen Sie es dann im Vakuum heiß, um die absorbierte Feuchtigkeit zu entfernen
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Eine Plasma-Reinigung kann zum Aufrauen der Oberfläche, zur Aktivierung chemischer Oberflächenbindungen oder zur zusätzlichen Entfernung von Verunreinigungen erforderlich sein
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Eine dünne Pufferschicht (~ 5 nm), wie z. B. cr, ti, mo, ta, könnte aufgebracht werden, um die Haftung von Metallen und Legierungen zu verbessern
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Für die beste Leistung müssen die nicht leitenden Targets mit einer Kupfer-Trägerplatte installiert werden. Weitere Informationen zum Target-Bonding finden Sie im folgenden Anleitungsvideo (Nr. 3)
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tmax setzt die Lackierer ein, die zno erfolgreich auf al 2 O 3 Substrat bei 500 ° C (xrd Profil in Bild 5)
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Verwenden Sie kein Leitungswasser im Wasserkühler. Verwenden Sie Wasser, destilliertes Wasser oder Korrosionsschutzmittel als Farbmittel.
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Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
