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kompakte Bauweise
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Eingangsleistung
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einphasig 220 Vac 50/60 Hz
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2000 W (inkl. Vakuumpumpe und Wasserkühler)
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Quellleistung
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In einem Schaltkasten sind zwei Sputter-Stromquellen integriert
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Gleichstromquelle: 500 W Leistung zur Beschichtung von metallischen Werkstoffen (Bild 1)
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HF-Quelle: 300 W Leistung, 13,56 MHz Frequenz zur Beschichtung von nicht leitenden Materialien (Bild 2)
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Magnetron-Sputterkopf
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zwei 2 "Magnetron-Sputterköpfe mit Wasserkühlung sind Jacken und Rollläden enthalten
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Ein Sputting Head-Modell ist ebenfalls erhältlich auf dieser Produktseite (in Produktoptionen)
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Eine davon ist an eine Gleichstromquelle angeschlossen, um metallische Werkstoffe zu beschichten
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der andere ist mit der HF-Quelle für nicht leitende Materialien verbunden
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Zielgrößenanforderung: 2 "Durchmesser
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Dickenbereich: 0,1 - 5 mm für metallische und nicht leitende Targets (einschließlich Trägerplatte)
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ein rostfreier Stahl Ziel Ziel und eine Forschungsnote al2o3 Ziel sind für Demo-Tests enthalten
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Optionale 2 "Sputtertargets (oder Trägerplatte) sind auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich.
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Empfohlenes Sputterrezept und nützliche Tipps
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kundenspezifischer Coater: zwei DC-Köpfe ohne RF; zwei HF-Köpfe ohne Gleichstrom; 3 HF-Köpfe sind auf Anfrage erhältlich
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optional: 148 cm HF-Kabel können gegen Aufpreis für den Ersatz bestellt werden (klicken Sie auf das erste Bild von rechts, um es zu bestellen)
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Vakuumkammer
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Vakuumkammer: Ø 300 mm x 300 mm Höhe aus Edelstahl
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Ansichtsfenster: zwei Teile mit 100 mm Durchmesser Glas. eine feste; Eine zum Reinigen und Austauschen abnehmbar
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Klappdeckel mit pneumatischem Strommast ermöglichen einfachen Zielwechsel
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Probebühne
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Der Probenhalter ist ein drehbarer und beheizbarer Tisch aus Keramik mit Kupferabdeckung
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Probenhaltergröße: Ø 140 mm zum. 4 "Wafer max
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Drehzahl: 1 - 20 U / min einstellbar für gleichmäßige Beschichtung
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Die Haltetemperatur ist über einen digitalen Temperaturregler von RT bis 500 ° C (max. 2 Std.) mit einer Genauigkeit von +/- 1,0 ° C einstellbar
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Gasflusskontrolle
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Zwei Präzisionsmassenstromregler (mfc) sind installiert, um den Einlass von zwei Arten von Gasen zu ermöglichen
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Durchflussrate: 0 - 200 ml / min über das Touchscreen-Bedienfeld einstellbar
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Das Lufteinlassventil ist zur Unterdruckentlastung installiert
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Vakuumpumpstation
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Eine mobile Pumpstation ist im Lieferumfang enthalten. Der Sputter-Coater kann auf die Station gestellt werden
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Die Hochgeschwindigkeitsturbopumpe mit einer Geschwindigkeit von 80 l / s wird mit einer zweistufigen mechanischen Pumpe (220 l / min) für ein maximales Vakuumniveau und ein höheres Saugvermögen kombiniert
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Standard-Vakuumniveau, das mit der Kammer verbunden ist: & lt; 4,0e-5 Torr. . (1.0e-6 Torr mit Kammerbacken)
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optional gegen Aufpreis
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Wenn Sie eine Hochgeschwindigkeitsturbopumpe mit 150 l / s wählen, kann das Vakuum in der Kammer 10-6 Torr erreichen (6x10-7 Torr beim Backen).
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Für das Ultrahochvakuum von bis zu 10 ^ -7 Torr wird zusätzlich zur Turbopumpe eine Getterpumpe (100 l / s h2 & amp; o2) benötigt. Bitte wenden Sie sich an unsere Ingenieure für eine detaillierte Anpassung.
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Wasserkühler
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Eine digitale Temperaturregelung Umlaufwasserkühler ist enthalten.
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Kühlbereich: 5 ~ 35 ° C
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Durchflussmenge: 16 l / min
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Pumpendruck: 14 psi
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wahlweise
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präziser Quarz Filmdickenmonitor ist optional und kann in die Kammer eingeführt werden, um die Schichtdicke mit einer Genauigkeit von 0,10 Å zu überwachen
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Präzision Dünnfilm & amp; Beschichtungsanalysesysteme - eq-tfms-ld ist gegen Aufpreis erhältlich
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Verschiedene 2-Zoll-Oxid- und Metalltargets sind auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich. Silber-Epoxid- und Kupfer-Trägerplatten können bei mti bestellt werden
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Gesamtabmessungen
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Nettogewicht des Beschichters
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Versandgewicht & amp; Maße
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Insgesamt 2 Paletten
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# 1: 520 lbs, 52 "x 40" x 50 "
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# 2: 420 lbs, 48 "x 40" x 45 "
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Beachtung
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ce Zustimmung
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Met-Zertifizierung (ul 1450) ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich. Bitte wenden Sie sich an unseren Vertriebsmitarbeiter, um ein Angebot zu erhalten.
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Garantie
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1 Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung
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Anwendungshinweise
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Ein zweistufiger Druckregler (nicht im Lieferumfang enthalten) sollte an der Gasflasche installiert werden, um den Gasausgangsdruck zur sicheren Verwendung auf unter 0,02 mpa zu begrenzen
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Um Sauerstoff aus der Kammer zu entfernen, empfehlen wir, die Kammer 2-3 Mal mit 5% Wasserstoff + 95% Stickstoff zu reinigen, wodurch der Sauerstoffgehalt auf & lt; 10 ppm
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Bitte verwenden Sie & gt; 5n Argongas für das Plasmasputtern. obwohl 5n reinheit normalerweise 10 - 100 ppm sauerstoff und h2o enthält, je nach lieferant. MTI empfehlen Ihnen zu verwenden Gasreinigungsgerät Gas vor dem Einfüllen zu reinigen.
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Für eine optimale Leistung müssen die nicht leitenden Targets mit einer Kupfer-Trägerplatte installiert werden. Weitere Informationen zum Target-Bonding finden Sie im folgenden Anleitungsvideo
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tmax liefert Einkristallsubstrat von a bis z
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tmax-Sputter-Coater haben zno erfolgreich auf al 2 O 3 Substrat bei 500 ° C
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Testen Sie die Flexibilität des Dünnfilms / der beschichteten Elektrode mit eq-mbt-12-ld Dornbiegetester .
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Hochspannung! Sputterköpfe werden an Hochspannung angeschlossen. Aus Sicherheitsgründen muss der Bediener den Hochfrequenz- / Gleichstromgenerator abschalten, bevor die Probe geladen und das Ziel gewechselt wird
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Verwenden Sie kein Leitungswasser im Wasserkühler. Verwenden Sie Kühlmittel, Wasser, destilliertes Wasser oder Korrosionsschutzmittel mit Wasser
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Louis@lithmachine.com
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