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Laborkombinatorische Plasma-Sputter-Beschichtungsmaschine mit drei 2-Zoll-Magnetron-Sputterquellen

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  • Adresse : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
Laborkombinatorische Plasma-Sputter-Beschichtungsmaschine mit drei 2-Zoll-Magnetron-Sputterquellen

Laborkombinatorische Plasma-Sputter-Beschichtungsmaschine mit drei 2-Zoll-Magnetron-Sputterquellen

  • :

    VTC-600-3HD-LD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • E-Mail :

    [email protected]

Laborkombinatorische Plasma-Sputter-Beschichtungsmaschine mit drei 2-Zoll-Magnetron-Sputterquellen


Das vtc-600-3hd-ld ist ein kombinatorisches Plasma-Sputtersystem mit drei 2-Zoll-Magnetron-Sputterquellen und drei HF / DC-Netzteilen. Ein solches Sputtersystem ist in der Lage, bis zu drei verschiedene Targetmaterialien gleichzeitig zu sputtern und verschiedene Zusammensetzungsprofile über das Substrat zu erzeugen (z. B. ternäre Materialien für wiederaufladbare Li-Ionen-Batterien) . Dieses System eignet sich auch zum sequentiellen Beschichten von Mehrschichtfilmen wie ferroelektrischen, Legierungs-, Halbleiter-, Keramik-, dielektrischen, optischen, Oxid-, Hart-, PTFE-Filmen usw.


Spezifikationen


kompakte Bauweise


Eingangsleistung

  • einphasig 220 Vac 50/60 Hz
  • 2000 W (inkl. Vakuumpumpe und Wasserkühler)




Quellleistung

  • Drei Sputter-Stromquellen sind in einem Steuerkasten integriert (Klicken Sie auf das Bild unten, um die detaillierten technischen Daten anzuzeigen.)
    • Gleichstromquelle: 500 W Leistung zur Beschichtung von metallischen Werkstoffen (Bild 1)
    • HF-Quelle: 300 W Leistung, 13,56 MHz Frequenz zur Beschichtung von nicht leitenden Materialien (Bild 2)






Magnetron-Sputterkopf

  • drei 2 "Magnetron-Sputterköpfe mit Wasserkühlung sind Jacken und Rollläden enthalten
  • Ein Sputting Head-Modell ist ebenfalls erhältlich.
    • Zielgrößenanforderung: 2 "Durchmesser
    • Dickenbereich: 0,1 - 5 mm für metallische und nicht leitende Targets (einschließlich Trägerplatte)
    • ein Zielscheibe aus Edelstahl und eine Forschungsnote al2o3 Ziel sind für Demo-Tests enthalten
    • Optionale 2 "Sputtertargets (oder Trägerplatte) sind auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich.
    • Empfohlenes Sputterrezept und nützliche Tipps
  • kundenspezifischer Coater: zwei dc - ein rf; zwei rf - eins dc; drei dc; drei rf (bitte aus den Produktoptionen auswählen)
  • Optional: 148-cm-HF-Kabel können gegen Aufpreis als Ersatz bestellt werden




Vakuumkammer

  • Vakuumkammer: Ø 300 mm x 300 mm Höhe aus Edelstahl
  • Ansichtsfenster: zwei Teile mit 100 mm Durchmesser Glas. eine feste; Eine zum Reinigen und Austauschen abnehmbar
  • Klappdeckel mit pneumatischem Strommast ermöglichen einfachen Zielwechsel




Probebühne

  • Der Probenhalter ist ein drehbarer und beheizbarer Tisch aus Keramik mit Kupferabdeckung
  • Probenhaltergröße: Ø 140 mm zum. 4 "Wafer max
  • Drehzahl: 1 - 20 U / min einstellbar für gleichmäßige Beschichtung
  • Die Haltetemperatur ist über einen digitalen Temperaturregler von RT bis 500 ° C (max. 2 Std.) mit einer Genauigkeit von +/- 1,0 ° C einstellbar

Gasflusskontrolle

  • Zwei Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) ermöglichen den Einlass von zwei Arten von Gasen

    • Flussrate: 0 - 200 ml / min & amp; 0 - 100 ml / min über das Touchscreen-Bedienfeld einstellbar
  • Das Lufteinlassventil ist zur Unterdruckentlastung installiert

Vakuumpumpstation

  • Eine mobile Pumpstation ist im Lieferumfang enthalten. Der Sputter-Coater kann auf die Station gestellt werden
  • Die Hochgeschwindigkeitsturbopumpe mit einer Geschwindigkeit von 80 l / s wird mit einer zweistufigen mechanischen Pumpe (220 l / min) für ein maximales Vakuumniveau und ein höheres Saugvermögen kombiniert
  • Standard-Vakuumniveau, das mit der Kammer verbunden ist: & lt; 4,0e-5 Torr. . (1.0e-6 Torr mit Kammerbacken)
  • optional gegen Aufpreis
  • Wenn Sie eine Hochgeschwindigkeitsturbopumpe mit 150 l / s wählen, kann das Vakuum in der Kammer 10-6 Torr erreichen (6x10-7 Torr beim Backen).
  • Für das Ultrahochvakuum von bis zu 10 ^ -7 Torr wird zusätzlich zur Turbopumpe eine Getterpumpe (100 l / s h2 & amp; o2) benötigt. Bitte wenden Sie sich an unsere Ingenieure für eine detaillierte Anpassung.
  • 150l / s Hochgeschwindigkeitsturbopumpe
  • Getterpumpe

Wasserkühler

  • Eine digitale Temperaturregelung Umlaufwasserkühler ist enthalten.
  • Kühlbereich: 5 ~ 35 ° C
  • Durchflussmenge: 16 l / min
  • Pumpendruck: 14 psi




wahlweise

  • präziser Quarz Filmdickenmonitor ist optional und kann in die Kammer eingeführt werden, um die Schichtdicke mit einer Genauigkeit von 0,10 Å zu überwachen
  • Präzision Dünnfilm & amp; Beschichtungsanalysesysteme - eq-tfms-ld ist gegen Aufpreis erhältlich
  • Verschiedene 2-Zoll-Oxid- und Metalltargets sind auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich. Silber-Epoxid- und Kupfer-Trägerplatten können bei tmax bestellt werden


Gesamtabmessungen

Nettogewicht des Beschichters

  • 160 kg

Versandgewicht & amp; Maße

  • Insgesamt 3 Paletten
  • 365 lbs, 48 ​​"x 40" x 45 "

  • 390 lbs, 48 ​​"x 40" x 49 "

  • 210 lbs, 48 ​​"x 40" x 30 "

Beachtung

  • ce Zustimmung
  • Met-Zertifizierung (ul 1450) ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich. Bitte wenden Sie sich an unseren Vertriebsmitarbeiter, um ein Angebot zu erhalten.

Garantie

  • 1 Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung

Anwendungshinweise

  • Ein zweistufiger Druckregler (nicht im Lieferumfang enthalten) sollte an der Gasflasche installiert werden, um den Gasausgangsdruck zur sicheren Verwendung auf unter 0,02 mpa zu begrenzen
  • Um Sauerstoff aus der Kammer zu entfernen, empfehlen wir Ihnen, 5% Wasserstoff + 95% Stickstoff zu verwenden, um die Kammer 2-3 Mal zu reinigen, wodurch der Sauerstoffgehalt auf & lt; 10 ppm
  • Bitte verwenden Sie & gt; 5n Argongas für das Plasmasputtern. obwohl 5n reinheit normalerweise 10 - 100 ppm sauerstoff und h2o enthält, je nach lieferant. tmax empfehlen Ihnen zu verwenden Gasreinigungsgerät Gas vor dem Einfüllen zu reinigen.
  • Für eine optimale Leistung müssen die nicht leitenden Targets mit einer Kupfer-Trägerplatte installiert werden. Weitere Informationen zum Target-Bonding finden Sie im folgenden Anleitungsvideo
  • lith liefert einkristallsubstrat von a bis z
  • lith sputterbeschichter haben zno erfolgreich auf al 2 O 3 Substrat bei 500 ° C
  • Testen Sie die Flexibilität des Dünnfilms / der beschichteten Elektrode mit eq-mbt-12-ld Dornbiegetester .
  • Hochspannung! Sputterköpfe werden an Hochspannung angeschlossen. Aus Sicherheitsgründen muss der Bediener den Hochfrequenz- / Gleichstromgenerator abschalten, bevor die Probe geladen und das Ziel gewechselt wird
  • Verwenden Sie kein Leitungswasser im Wasserkühler. Zur Vermeidung von Rost und Korrosion müssen Rostschutzkühlmittel verwendet werden.




Plasma Sputtering Coater









Paket:

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird das beschädigte teil für sie kostenlos ändern.

Lieferzeit : 15-20 tage nach der bestätigung der bestellung, detail lieferdatum sollte bestimmt werden nach

Produktionszeit und Bestellmenge.